판매용 중고 SEMITOOL 240F #151785

SEMITOOL 240F
제조사
SEMITOOL
모델
240F
ID: 151785
웨이퍼 크기: Up to 4"
Spin rinse dryer, up to 4".
SEMITOOL 240F는 정밀도, 반복성 및 신뢰성을 강조하는 반도체 제조업체를 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 차세대 시스템은 습식 및 건식 사진 분석 프로세스의 프로세스 제어를 향상시킵니다. 240F는 사용자에게 리소그래피 프로세스를 완벽하게 제어합니다. 통합 프로그래밍 가능한 타이머를 사용하면 노출 시간을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 디지털 모니터 (Digital Monitor) 를 사용하면 Photolithography 프로세스 전반을 가시화할 수 있으므로 사용자가 실시간으로 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 이빔 (Ebeam) 조명은 웨이퍼에서 높은 수준의 균일성을 보장하며, "스마트 스캔 (Smart Scan)" 기능을 통해 생산 중 결함을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. SEMITOOL 240F는 또한 사용자에게 고급 기판 처리 및 전송 기능을 제공합니다. 6 축 로봇 암은 광축을 기준으로 기판을 정확하게 배치하고 전달합니다. 진공 및 필터 장치는 photoresist 레이어의 무결성을 보장하고 결함을 최소화합니다. 이 기계는 효율성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 웨이퍼 다이빙 및 절삭에는 WDC (Wafer Dicing Chip), 웨이퍼 클리닝에는 WCR (Wafer Cleaning Robot) 을 사용합니다. 두 기능 모두 수작업 (manual intervention) 의 필요성을 줄여, 사용자는 프로세스를 간소화하고 생산성을 높일 수 있습니다. 240F는 또한 안전 및 환경 지속 가능성을 위해 설계되었습니다. 안전 기능에는 내장 과온 센서, 유해 화학 수치를 감지하는 모니터, 온도 변화를 방지하는 전용 냉각 채널 등이 있습니다. 배기 도구는 효율적으로 필터링하고 배기 공기를 재순환하여 배기 배출량을 크게 줄입니다. 전체적으로 SEMITOOL 240F는 최고의 정밀도, 반복성, 신뢰성 표준을 충족하도록 설계된 고급 포토레시스트 (photoresist) 자산입니다. 즉, 사용자는 photolithography 프로세스를 최대한 제어하고 효율성, 안전 및 환경 지속 가능성을 개선할 수 있습니다.
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