판매용 중고 SEMITOOL 240 #85328

SEMITOOL 240
제조사
SEMITOOL
모델
240
ID: 85328
SRD with rotor.
세미톨 240 (SEMITOOL 240) 은 고급 반도체 칩, 트랜지스터 및 기타 유형의 집적 회로를 만들도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 고정밀도, 자동화된 시스템으로, 일관되고 반복 가능한 결과를 낼 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치 에는 포토레시스트 챔버 (photoresist chamber) 가 장착 되어 있으며, 저항기 (resist delivery machine) 는 포토레시스트 (photoresist) 의 균일 하고 일관성 있는 필름 을 기판 에 적용 할 수 있게 해 준다. 또한, 레이저 광학 정렬기는 기판의 정확하고 반복 가능한 photolithography 패턴을 허용한다. 광전자는 또한 고강도 광원에 노출된다. 이 조사법은 고해상도의 패턴 (pattern) 과 고용량 정확도 (high dose accuracy) 및 반복성 (repeatability) 으로 구성 될 수 있습니다. 240에는 또한 '풀업 (pull-up)' 도구가 장착되어 있으며, 이는 사진 분석 프로세스 전체에서 프로세스 안정성을 최대화하는 데 사용됩니다. 이 자산은 photoresist 모델 내의 온도, 습도 및 압력 수준을 정확하게 제어합니다. 또한, "레지스트 '" 스트립' 과 "베이크 '주기 동안 에" 포토레지스트' 챔버 '내 의 온도 가 일정성 을 유지 하는 통합 온도 조절 장비 를 갖추고 있다. SEMITOOL 240은 뛰어난 안정성과 반복성을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 유전체 상수 (Dielectric Constant), 고장 전압 (Breakdown Voltage), 전력 소산 (Power Dissipation) 과 같은 다양한 전기적 매개변수에 비해 뛰어난 패턴화 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 또한 최소한의 수차로 고용량 정확도를 생성 할 수있는 정교한 광원을 사용합니다. 전체 240의 통합 기능을 통해 사진 해설주기 시간을 줄일 수 있습니다. 또한, 사진 스태킹 (photo stacking) 모드를 사용하면 단일 실행에서 여러 패턴화 단계를 수행할 수 있으므로 보다 효율적인 기판 처리가 가능합니다. 또한 자동 검사 기능을 통해 리소그래피 결과를 극대화할 수 있습니다. 결론적으로, SEMITOOL 240 Photoresist 기계는 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 반도체 photolithography 프로세스 결과를 제공하기 위해 설계된 고급 도구입니다. 이 자산은 통합 온도 조절 모델 (Integrated Temperature Control Model), 레이저 광학 정렬기 (Laser Optical Aligner), 풀업 장비 (Pull-Up Equipment) 등 다양한 기능을 결합하여 정확한 결과를 생성합니다. 이 시스템은 집적 회로, 트랜지스터 및 기타 유형의 고급 칩에 이상적입니다.
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