판매용 중고 SEMITOOL 240 series #85324

SEMITOOL 240 시리즈는 photolithography 프로세스를 촉진하기 위해 특별히 설계된 포토 esist 처리 장비입니다. 설계 정보에서 깨끗하고, 정확하며, 일관되게 깨끗하고, 견고한 포토레지스트 패턴을 생성 할 수 있습니다. 이 시스템은 반도체 산업의 볼륨 생산 및 연구 실험실 응용 분야에 이상적입니다. 이 장치는 다양한 하드웨어, 소프트웨어 및 기타 구성 요소로 구성되며, 이 구성요소는 최적의 디테일과 처리량을 위해 함께 작동합니다. 240 시리즈에는 작업 및 프로세스 레시피를 프로그래밍 및 구성하는 데 사용되는 ACP (Advanced Configuration Processor), 각 포토 esist 처리 주기 동안 온도, 압력 및 배치 상태를 모니터링하는 데 사용되는 IPC (Interactive Process Controller) 및 포토리스트 마스크의 품질을 모니터링 및 검증하는 데 사용되는 OAS (Onboard Analytical Machine) 가 포함됩니다 있습니다. 또한, 이 도구에는 여러 가스 소스의 매개변수를 관리하는 데 사용되는 GAS 소스 관리자 (GAS Source Manager) 가 포함되어 있습니다. 각 단계의 프로세스 차이를 모니터링하는 데 사용되는 가스 분석기, 코팅 솔루션의 적절한 점도를 조절하고 유지하는 점도 교정기 (Viscosity Corrector) photoresist 재료 살포에 사용되는 Cleanroom Inert Gas Bar, 각 작업에 대한 자산 매개 변수를 정의하고 제어하는 데 사용되는 전용 소프트웨어 응용 프로그램 (영문). SEMITOOL 240 시리즈는 자동화 및 유연성을 위해 설계되었습니다. 이 모델은 여러 가스 소스 구성을 통해 배치 (batch) 및 연속 (continuous) 처리를 모두 허용합니다. 이 "플랫폼 '은 공기 와 입자 를 최소한 으로 유지 할 수 있도록" 클리어룸' 환경 에서 작동 하도록 설계 되었다. 이 장비는 또한 현장 정비 모니터링 시스템 (Computerized Maintenance Monitoring System) 을 제공하여 장치 문제를 신속하게 진단하고 해결합니다. 또한, 이 기계는 여러 계층의 안전 (Safety) 및 사용자 친화적 (User-Friendly) 작업 기능을 갖도록 설계되었으며, 사용자는 Photoresist 프로세스의 각 단계를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 240 시리즈는 고정밀도 포토레지스트 (photoresist) 패턴을 빠르고 일관되게 제작하려는 시설에 적합한 도구입니다. 안정적이고 효율적인 디자인의 SEMITOOL 240 시리즈는 사용자가 가장 정확하고 반복 가능한 성능을 제공하여 최적의 리소그래피 (lithography) 결과를 보장합니다.