판매용 중고 SEMITOOL 240 / 260 / 270 #171344

SEMITOOL 240 / 260 / 270
ID: 171344
Rotors for PFA Fluoroware A72-40MB 4" boats.
SEMITOOL 240/260/270 Photoresist Systems는 Semiconductor Industry 240/260/270 Photoresist Systems에서 널리 사용되며, 반도체 산업에서 다양한 기판 재료에서 포토 esist 필름의 정밀 증착, 용해 및 개발을 위해 사용됩니다. 이 시스템은 습식 처리 스테이션, 포토레스 장치, 마스크 정렬기, 입자 모니터, 건조 장치 등 여러 모듈 및 구성 요소로 구성됩니다. 습식 처리 스테이션은 포토 esist 필름의 증착, 해산 및 개발을 담당합니다. 주요 구성 요소는 챔버, 중앙 컨트롤러, 프로세스 스테이션 및 회전 캐리어입니다. 약실은 공정 화학 및 환경을 함유하는 데 사용됩니다. 공정 "스테이션 '은 기판 재료 와 함께 교반 된 공급, 이를테면 화학 물질, 용제 등 을 담당 한다. 회전 캐리어 (rotating carrier) 는 처리를 위해 챔버에서 프로세스 스테이션으로 기판을 전송하는 데 사용됩니다. 10 배 ~ 500 배율의 현미경을 갖춘 포토레스 장치 (photoresist unit) 는 공정 중에 기판을 보고 검사하는 데 사용된다. "스피닝 '과" 베이킹' 장치 는 액체 또는 점성 광사 를 회전 시키고 "마스크 '정렬 기 의 빛 에 노출 된 후 기판 에 생성 된" 패턴' 을 굽는 역할 을 한다. 또한, SEMITOOL 240/260/270에는 환경의 청결 성을 모니터링하는 데 사용되는 입자 모니터가 있습니다. 마지막으로, 건조 장치는 기질에서 포토 esist 필름을 건조시키고 치료하는 책임이 있습니다. 240/260/270은 반도체 산업에서 포토 esist 처리를위한 저명한 도구입니다. 고품질 반도체 장치를 생산하기 위한 안정적이고 정확한 프로세스를 제공합니다. 이 시스템은 여러 가지 구성으로 제공되며, 모듈식 설계를 통해 구성 요소를 손쉽게 유지 보수하고 교체할 수 있으며, 시간 (time) 과 비용 (money) 을 절약할 수 있습니다. 또한, 고급 안전 기능은 인력과 장비의 최적 안전을 보장합니다. 이 시스템은 모든 유형의 습식 처리 스테이션, 포토 esist 장치, 베이킹 또는 건조 장치 (모두 매우 정확하고 신뢰할 수 있음) 와 함께 사용할 수 있으며, SEMITOOL 240/260/270은 필요에 따라 포토 esist 시스템을 찾는 회사에 적합한 선택입니다.
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