판매용 중고 SEMITOOL 2300S #9088742

제조사
SEMITOOL
모델
2300S
ID: 9088742
Spin rinser dryer PSC-101 Controller 208 V, 50/60 Hz, 15 A Option available: Rotor, 8".
SEMITOOL 2300S는 고정밀 반도체 사진 해설을 위해 설계된 포토리스 처리 장비입니다. 이 시스템은 장치 형상의 고품질 이미징을 최대 0.25 "m '크기로 관리할 수 있습니다. 기본 (basic) 에서 고급 (advanced) 까지의 다양한 적응 가능한 포토 esist 코팅이 동일하지 않은 속도 및 정밀도로 제공됩니다. 2300S 포토 esist 유닛에는 두 가지 주요 구성 요소 인 화학 물질 모듈과 진공 도구가 있습니다. 화학 물질 모듈 (chemistries module) 은 노출되기 전에 원하는 포토 에스트 (photoresist) 에서 염색, 웨이퍼 또는 기질을 효과적으로 코팅하기 위해 산 및 neutra 용액을 모두 보유하도록 설계되었습니다. 이 모듈 은 여러 가지 해결책 을 관리 할 수 있는데, 전체 기판 전체 에 걸친 "코우팅 '을 유지 하면서" 포토레시스트' 폐기물 을 감소 시킬 수 있다. 한편, 진공 공구는 photopatterning 프로세스를 최적화하여 마스크 정렬을 개선하고 높은 해상도의 이미징을 보장합니다. 이 두 구성 요소의 독특한 조합은 SEMITOOL 2300S에 반도체 포토 리토 그래피 (photolithography) 경기장에서 강력한 가장자리를 제공하여 장치 기하학이 0.25 jm가 될 수 있습니다. Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) 기술은 매우 높은 정밀도를 달성하여 가장 작은 기능조차도 정확하게 재현 할 수 있습니다. 2300S는 노출 시간 단축, 해상도 향상, 제품 생산량 향상 등 사용자에게 많은 이점을 제공합니다. 또한 고급 웨이퍼 매핑, 자동 정렬 및 닫힌 루프 제어와 같은 기능도 통합됩니다. 각 기능은 포토리스 (photoresist) 기계의 정확성과 효율성을 더욱 향상시키기 위해 설계되었습니다. 모든 SEMITOOL 2300S 시스템에는 포괄적인 사용자 설명서가 포함되어 있으므로 유용한 지침과 유용한 관련 정보가 제공됩니다. 또한, 모든 제품에 대한 전체 기술 지원 및 고객 서비스 (customer service) 를 제공하여 설치 및 설치 프로세스를 간소화합니다. 전반적으로, 2300S는 매우 능숙한 포토리스 (photoresist) 도구이며, 높은 수준의 비용 효율성을 유지하면서 뛰어난 결과를 제공합니다. 복잡하고 정밀도가 높은 이 제조 공정에 이상적입니다.
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