판매용 중고 SEMITOOL 2300S #151756

SEMITOOL 2300S
제조사
SEMITOOL
모델
2300S
ID: 151756
웨이퍼 크기: Up to 12"
Spin rinse dryer, up to 12".
SEMITOOL 2300S는 마이크로 전자 장치 생산에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 그것은 미세 전자성 기질에 포토 esist의 코팅 및 개발에 사용됩니다. 이 시스템은 자동화되고 사용자 친화적이며, 고급 기능으로 정확하고 반복 가능한 필름 성능을 제공합니다. 2300S는 섬세한 기판과의 뛰어난 호환성을 제공하며 자동 필름 트랙 (automated film track) 구성을 제공하는 저온 베이크 (low-temperature bake) 방법을 사용합니다. 자동 필름 트랙은 다양한 기판 크기를 수용 할 수 있도록 조정됩니다. 특수하게 설계된 고품질 저항 펌프 (High-Quality Resist Pump) 를 사용하면 각 펄스로 레지스트 재료를 기판에 정확하게 적용 할 수 있습니다. 또한, SEMITOOL 2300S의 압력 챔버 및 노즐 어셈블리는 높이 및 각도 조정을 조정하여 정확하고 반복 가능한 코팅 필름 두께를 제공합니다. 포토레스 장치 (photoresist unit) 는 또한 정밀하고 반복 가능한 피쳐 해상도를 허용하는 단파 레이저가있는 고정밀 광학 머신을 특징으로합니다. 이 도구는 독점 고급 알고리즘을 사용하여 먼지 입자 (dust particle) 의 효과를 제거하고 정확한 초점 제어를 활성화합니다. 또한, 온보드 2 단 교반 모터는 정확한 점도 제어 및 코팅 균일성을 허용합니다. 정확하고 반복 가능한 필름 프로파일을 보장하기 위해 2300S (Advanced Non-Contact Profilometry) 를 사용하여 기판의 서피스 프로파일을 정확하게 측정합니다. 또한, 저 가스 재료 및 승화 방지 모델은 민감한 기판을 보호하고 품질 결과를 보장하는 역할을합니다. SEMITOOL 2300S photoresist 자산은 정밀 프로파일, 필름 균일성, 미세한 기능 제어 및 낮은 아웃 가스 (outgassing) 재료를 요구하는 다양한 응용 분야에 적합합니다. 이 모델의 자동 (automated) 기능은 각 기판에 대해 균일하고 일관된 필름 성능을 제공하며, 고급 광학 장비는 정확하고 반복 가능한 기능 해상도를 보장합니다. 또한, 저온 베이킹 (low temperature baking) 방법은 섬세한 기판과의 호환성을 보장하여 마이크로 전자 장치 생산에 이상적인 선택입니다.
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