판매용 중고 SEMES Lozix #9236890

SEMES Lozix
제조사
SEMES
모델
Lozix
ID: 9236890
웨이퍼 크기: 12"
Track system, 12".
SEMES Lozix (SEMES Lozix) 는 빛을 사용하여 기판 표면에 패턴을 만드는 포토 esist 장비입니다. 광전물질 (photoresist) 은 표면에 패턴을 생성하기 위해 빛에 노출 될 수있는 액체 형태의 물질이다. 이 물질은 일반적으로 폴리머, 아크릴 레이트 및 염료로 만들어집니다. 이어서, 노출 된 포토 esist를 기판에 에치하기 위해 개발된다. 로직스 (Lozix) 시스템은 얇은 금속 필름, 유리, 플라스틱 기판 등 다양한 두께의 재료를 패턴화하는 데 최적화되어 있습니다. 개선 된 해상도를 통해 0.005 mm (0.005 mm) 의 낮은 기능으로 패턴을 생성 할 수 있습니다. 이 장치는 넓은 영역 패턴화, 미세 구조 생산에 사용됩니다. 유연성과 정밀성으로 인해 의료, 전자, 항공 우주 및 기타 여러 산업에 적합한 도구가되었습니다. photoresist는 일반적으로 스핀 코팅을 통해 기질에 적용됩니다. 이 코팅은 빛에 노출되기 전에 가벼운 차단 접촉 슬리브로 덮여 있습니다. 이 "슬리브 '는 그 과정 에서 다른 광원 으로부터의 간섭 을 방지 하는 역할 을 하며, 광전사 의 균일 한 노출 을 보장 한다. 직접 조명을 통해 또는 렌즈 머신 (lens machine) 에 의해 투영 된 중첩 이미지를 사용하여 노출을 달성 할 수 있습니다. 그 후, 노출 된 포토 esist는 패턴 화 된 기질을 얻기 위해 개발된다. 개발 과정은 응용 프로그램에 따라 양성 (positive) 또는 음성 (negative) 포토 esist로 수행 될 수 있습니다. 양성 광전자는 노출되지 않은 물질을 제거함으로써 패턴을 생성하는 반면, 음성 광전자는 노출 된 물질을 뒤로함으로써 작용한다. 마지막으로, 패턴 된 기판은 해당 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. SEMES Lozix 도구를 사용하면 기판을 빠르고 정확하며 다용도 패턴화할 수 있습니다. 또한 애플리케이션 요구 사항에 따라 패턴을 사용자 정의할 수 있는 다양한 노출/개발 옵션을 제공합니다. 그것의 유연성과 정밀성은 프로토 타입 (prototyping) 과 소규모 생산 실행을위한 광범위한 가능성을 열어줍니다.
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