판매용 중고 SEMES EKPS-01 #9352141

SEMES EKPS-01은 표면 평면화를위한 완전 자동화 된 광사 장비입니다. 그것 은 훌륭 한 결과 로, 광범위 한 광저항 물질 을 처리 할 수 있다. 회로 기판 제조 및 반도체 장치 제조와 같은 다양한 응용 분야에 적용됩니다. EKPS-01 시스템은 광전 센서가 장착 된 닫힌 루프 제어 장치 (closed loop control unit) 를 사용하여 포토레스 코팅 프로세스를 정확하게 모니터링하고 제어합니다. 변이가 매우 적은 전체 기판에 균일 한 코팅 두께를 전달할 수 있습니다 (예: 1). 또한, 포토 esist 레이어의 오염을 줄이기 위해 자동 클리닝 머신이 내장되어 있습니다. photoresist 도구는 집중된 빔 헤드, 정밀 증착 대상 및 가압 가스 자산으로 구성됩니다. 초점 빔 헤드 (beam head) 는 다양한 코팅 용도에 대해 다양한 유형의 빔을 생성 할 수 있습니다. 정밀 증착 대상은 기판에 고른 광저항 층 (photoresist layer) 을 우수한 접착력으로 제공하도록 설계되었습니다. 가압 가스 모델은 기판을 가로 질러 균일 한 가스 흐름을 제공하여 균일 한 증착을 보장합니다. 이 장비에는 또한 내장형 진공 시스템 (vacuum system) 이 포함되어 있어 포토 esist가 그대로 유지되고 균일하게 분배됩니다. 또한, 진공 장치 는 "코우팅 '공정 후 에 과도 한 물질 을 제거 하여 낭비 를 제거 하는 데 도움 이 된다. 또한 SEMES EKPS-01은 photoresist 프로세스를 자동으로 제어 할 수있는 고급 소프트웨어를 사용합니다. 이 기계를 사용하면 코팅 프로세스 매개변수를 사용자 정의하여 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. EKPS-01 photoresist 도구는 매우 안정적이며 반복 가능한 결과를 제공 할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 자산의 비용은 자동화 된 포토레스 (photoresist) 모델의 경우 비교적 저렴합니다. 결과적으로, 그것은 표면 평면 화 응용 프로그램 및 기타 포토 esist 처리 요구에 적합한 선택입니다.