판매용 중고 SEMES EKPS-01 #9259252

SEMES EKPS-01은 광범위한 석판 응용 분야를 위해 설계된 첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 뛰어난 성능과 정밀도 (precision) 를 제공하기 위해 여러 가지 구성 요소로 구성되어 있습니다. EKPS-01 장치에는 처리 중 정확하고 정확한 정렬을 보장하는 닫힌 루프 높이 제어 시스템이있는 VBT (Vacuum Best Table) 가 포함되어 있습니다. VBT는 x-y-z 이동을 허용하는 선형 축 (linear axis) 투모터 제어 도구에 의해 구동되며, 이는 기판의 정렬을 촉진하고 처리 정확도를 높입니다. 포토 esist 디스펜싱 스테이션 (photoresist dispensing station) 은 다양한 크기와 기하학의 기질에 얇고 균일 한 코팅을 생성 할 수있는 포토 esist 솔루션의 자동 디스펜싱을 제공합니다. 이빔 노출 작업 스테이션 (e-beam exposed work station) 은 빠른 노출 속도와 고품질의 결과로 넓은 영역에 패턴을 만들 수 있습니다. 직접 등방성 에치 스테이션 (direct isotropic etch station) 은 샘플의 화학 건식 에치 처리에 사용되며, 고급 제조 요구에 유연한 프로세스 매개변수를 제공합니다. 마지막으로, 화학 용매소 (chemical solvents station) 는 원치 않는 잔기를 제거하고 추가 작업을 위해 샘플을 준비합니다. SEMES EKPS-01은 고정밀 리소그래피에 이상적인 선택으로, 프로세스 정확도와 효율성을 극대화합니다.