판매용 중고 SCS FA-812-1060-1 #9157134

SCS FA-812-1060-1은 반도체 웨이퍼 처리를 위해 고급 리소그래피 기능을 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 안정적이고 사용하기 쉬운 시스템으로, 프로덕션 환경에 통합될 수 있습니다. 이 장치에는 고출력 KrF 엑시머 레이저 소스와 최대 200mm의 웨이퍼 크기를 지원하는 하향식 스캐닝 스테이지가 있습니다. "레이저 '빛 은 두 개 의 광선 으로 나뉘어지며, 그 다음 에 정해진 거리 에 의하여 분리 되고" 콘덴서' "렌즈 '와" 핀홀' 조리개 를 통과 하여 "포토리제스트 '재료 에 원하는 본 을 만든다. 광도 마스크 (photomask) 는 동력 마스크 스테이지에 장착되어 있으며, 스캐닝 스테이지와 조정되어 유연하고 정확한 정렬이 가능합니다. FA-812-1060-1 은 자동으로 매개 변수를 최적화하여, 관찰된 성능에 따라 프로세스 매개 변수가 필요에 따라 변경되도록 합니다. "웨이퍼 '를 가로지르는 노출 된 사진술사 의 균일성 은 개별적 으로" 프로그램' 할 수 있는 "레이저 '동력 과" 셔터' 속도 를 사용 함 으로써 최적화 된다. 또한, 이 기계는 실시간으로 피드백을 제공하는 하이엔드 모니터링 툴 (monitoring tool) 을 활용하여 고급 프로세스 제어 및 검증을 제공합니다. 레이저 및 웨이퍼 로딩 위치 사이의 실드 (shield) 와 전자 연동 셔터 도어 (shutter door) 와 같은 여러 내장 안전 기능도 포함됩니다. "셔터 '문 에는 문 이 열린다면, 노출 되는 일 이 일어나지 않게 하는" 인터록' 이 달려 있다. 긴급 상황 발생 시 신속하게 종료할 수 있는 '긴급 끄기 (Emergency Off)' 버튼도 제공됩니다. SCS FA-812-1060-1은 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 포토리스트 (photoresist) 자산으로, 최적의 프로세스 제어를 통해 고품질 리소그래피 결과를 제공합니다. 이 모델은 고급 기능과 자동화된 매개변수 최적화 (automated parameter optimization) 를 통해 최소한의 노력으로 세계적 수준의 반도체 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 안전한 운영, 유연성, 안정적인 결과를 제공하는 FA-812-1060-1 은 모든 운영 환경에 적합한 솔루션입니다.