판매용 중고 SCS 6708D #9161853

제조사
SCS
모델
6708D
ID: 9161853
웨이퍼 크기: 3"-6"
Manual spinner, 3"-6".
SCS 6708D는 매우 다양한 생산 요구를 충족하는 고정밀 최첨단 포토레지스트 (photoresist) 장비입니다. 사실상 중단되지 않은 생산을 위한 탁월한 생산성을 지닌 첨단, 완전 자동화 시스템입니다. 사용자에게 친숙한 장치에는 전반적인 프로세스 제어를 개선하기 위해 자동화된 운영 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 기계는 완전 회전 처리 기능과 최대 속도 30 rpm의 직접 링 드라이브 기술 (DRT) 을 갖추고 있습니다. DRT는 기존 시스템의 일반적인 주기 시간의 1/2에 빠른 로드/언로드를 지원합니다. 포토 esist 도구는 뛰어난 균일성과 해상도를 제공합니다. 정확성과 균일성의 뛰어난 반복성을 위해 정밀 기계식 스핀들이 장착되어 있습니다. 스핀들에는 조정 가능한 클램프 링 (clamp ring), 조정 가능한 링 턱 (adjustable ring jaw) 및 링 암 (ring arm) 과 같은 컴포넌트가 장착되어 있어 컴포넌트의 정확한 위치를 보장합니다. 이 자산은 또한 재구성 가능한 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 를 제공하며, 이는 기질의 다양한 크기와 화학 물질에 적응하여 특수 어댑터가 필요하지 않습니다. 동봉 된 진공 모자는 온도, 운동력, 정적력, 입자 오염 수준으로부터 보호되어 민감한 광저항 층에 해를 줄 수 있습니다. 또한, 이 모델은 자동화된 테스트 장비를 갖추고 있어 기기와 재료 불일치를 신속하게 파악할 수 있습니다. 광학, 단일 참조, 적외선, 클로로브로마이드와 같은 다양한 센서가 측정 시간을 최소화하고 프로세스를 단순화합니다. 이 테스트 시스템은 정교한 디지털 신호 처리 (signal signal processing) 를 통해 모니터링되며, 이 프로세스에서 가장 미세한 분산을 감지하고 격리할 수 있습니다. 처리량 및 성능 향상을 위해 6708D는 자동 시스템 상태 모니터링을 제공합니다. 여기에는 프로덕션 실행 (Production Run) 과 플래그 (Flag) 간의 공구 성능에서 차이점을 감지할 수 있는 센서가 포함됩니다. 전반적으로, SCS 6708D 포토레스 장치 (photoresist unit) 는 뛰어난 코팅 균일성 및 해상도로 안정적이고, 효율적이며, 매우 정확한 생산 수단을 제공하며, 프로세스를 간소화하는 고급 자동 기능을 제공합니다. 확장성이 뛰어난 고정밀도 포토레지스트 (photoresist) 머신을 필요로 하는 사용자에게 이상적인 옵션입니다.
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