판매용 중고 SCREEN RF3 #9311026

SCREEN RF3은 높은 정밀도와 매우 높은 정확도의 마이크로 리소그래피 프로세스를 가능하게하는 포토 esist 장비입니다. 첨단 소프트웨어 제어 광학 시스템 (Advanced Software-Controlled Optical System) 을 사용하여 리소그래피 프로세스를 조작하여 정확도가 가장 높은 매우 복잡하고 작은 패턴을 만들 수 있습니다. 이 장치는 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 레이저 스캐너와 매우 정확한 헥사 축 단계. 레이저 스캐너는 포토 esist 물질의 정확하고 정확한 노출을 허용합니다. 이 레이저 스캐닝 머신에는 서브 미크론 (Sub-micron) 에서 수백 미크론 (Micron) 까지, 최고 1GHz의 고속 스캐닝 헤드가 장착되어 있습니다. 육축 (hexa-axis) 단계에는 웨퍼의 정확하고 안정적인 위치를 보장하기 위해 조절 가능한 장치가 장착되어 있습니다. 이 단계는 또한보다 복잡한 구조를 만들기 위해 웨이퍼를 0.001 ° ~ 0.0015 ° 씩 회전시킬 수 있습니다. RF3 도구는 매우 정확하고 안정적입니다. 피드백 제어 및 연속 cleanroom 작업을 위한 자동 정렬 및 닫힌 루프 정렬 서보가 특징입니다. 이는 진동 또는 열 소음 (thermal noise) 으로 인한 오염 위험을 완화하면서 높은 수준의 정확성을 보장합니다. 또한, 이 자산은 최적의 장치 성능 및 수율을 위해 뛰어난 웨이퍼 균일성 (wafer unifority) 및 저소음 프로파일 (low-noise profile) 을 생산할 수 있습니다. 포토리스 (photoresist) 공정의 프로세스 모니터링 및 제어를 허용하는 추가 현장 도량형 (in-situ metrology) 옵션이 있습니다. 스크린 RF3 (SCREEN RF3) 모델은 포토레시스트 (photoresist) 프로세스에 최고 수준의 정확성과 정밀도를 제공하여 뛰어난 제품 성능과 최소한의 수율을 제공합니다. 이 장비는 이제 반도체 및 나노 기술 공정 산업에서 널리 사용됩니다.