판매용 중고 SCREEN RF-300A #9355372

SCREEN RF-300A
제조사
SCREEN
모델
RF-300A
ID: 9355372
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
i-Line track system, 12" 2005 vintage.
SCREEN RF-300A는 SCREEN Semiconductor Solutions에서 제조 한 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 메모리 칩, 아날로그, 디지털 IC, 고성능 로직 회로 등 집적도가 높은 회로를 만들기 위해 반도체 기판에 패턴을 효율적이고 정확하게 매핑하도록 설계되었습니다. 이 고급 웨이퍼 스테퍼 (Advanced Wafer Stepper) 에는 서브 미크론 정확도를 제공하는 고급 정렬 장비가 장착되어 있으므로 미니스쿨 기능, 고밀도, 일관성 등을 갖춘 회로 패턴의 고급 제작이 가능합니다. RF-300A는 계단 레이저 빔 (steped laser beam) 과 고출력 레이저 (high power laser) 노출을 사용하여 기판의 회로 패턴을 정확하게 매핑합니다. 이 패턴 노출은 한 단계 또는 여러 단계 프로세스에서 수행되며, 전체 (full) 필드 또는 미리 정의된 (predefined) 영역에 노출될 수 있습니다. 그런 다음, 고급 스테퍼는 고정밀 광학 현미경을 사용하여 회로 설계를 기판에 광학적으로 정렬합니다. 이 광학 정렬 (Optical Alignment) 과정은 굵은 정렬 (거친 정렬) 의 두 단계로 수행됩니다. 즉, 이미 노출된 마스크를 선택한 기준점과 일치하도록 전환하고 미세 정렬 (미세 정렬) 을 달성하며, 이미징 패턴을 기판에 겹쳐서 달성합니다. 이 다중 통과 공정 (multiple-pass process) 은 기판에 회로 설계를 정확하게 배치하고 전체 제조 공정에 걸쳐 패턴 정의를 유지하는 데 도움이됩니다. 또한 SCREEN RF-300A (SCREEN RF-300A) 에는 회로 설계를 적절히 정렬하기 위해 기판의 풀 필드 이미징이 필요하지 않은 고해상도 비전 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 최첨단 포토 마스크 (photomask) 는 고출력 노출에 대한 최적의 패턴 적용 범위를 제공하여 제조 비용을 절감합니다. 마지막으로, RF-300A 에는 패턴 노출 시간 (pattern exposure time) 및 조정 설정 (calibration settings) 과 같은 매개변수를 쉽게 설정하고 조정할 수 있는 정교한 프로그래밍 가능한 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 전반적으로 SCREEN RF-300A 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 정확도, 반복성 및 처리량이 뛰어난 복잡하고 정확한 회로 패턴을 만들 수있는 고도의 제조 도구입니다. 또한, 정렬 장치, 비전 머신 및 포토 마스크 (photomask) 와 같은 다양한 최첨단 기능을 통해 RF-300A는 반도체 제작을위한 귀중한 도구이자 첨단 생산 시설의 필수품입니다.
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