판매용 중고 SCREEN RF-300A #9355350

SCREEN RF-300A는 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 제조에서 복잡한 포토 마스크의 정밀 정렬 및 노출에 사용됩니다. 사용이 간편하고 견고한 디자인, 업계 최고의 성능, 고급 기능 등이 특징입니다. RF-300A의 최대 투영 이미지 크기 (마스크 크기) 는 484x484 mm이고, 노출 파장 범위는 365-442nm이며, 이미지 해상도가 큰 비구면 렌즈입니다. 이 제품은 창의적인 펠리클 드라이브 (pellicle-drive) 장비로, 매우 정밀하게 복잡한 마스크를 효율적이고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 스테이지는 최대 270mm/sec의 최대 스테이지 속도를 가진 하이브리드 모터 시스템 (hybrid motor system) 에 의해 구동되며 최대 메쉬 크기는 최대 30,620 x 30,620; 이를 통해 SCREEN RF-300A는 처리량이 많은 프로덕션 시나리오에 적합합니다. 스테퍼는 다양한 노출 요구 사항을 충족하기 위해 단일 웨이퍼, 멀티 웨이퍼, 슬릿 스캐닝 및 리버스와 같은 여러 노출 모드를 제공합니다. 고정밀도 단위 정렬 기능 (high precision unit alignment feature) 과 능동 정렬 센서 머신 (active-alignment-sensor machine) 을 사용하여 이미지를 웨이퍼에 정확하고 정확하게 배치함으로써 노출 정확도가 더욱 높아집니다. 기계는 또한 독특한 전자 셔터 (electronic shutter) 를 제공하며, 여기서 노출은 트리거에 의해 시작될 수 있으며, 셔터는 열려 있습니다. 이를 통해 노출이 중단되고, 노출이 시작된 후에도 노출 매개 변수 (exposure parameters) 를 다시 설정할 수 있습니다. 또한 RF-300A 에는 노출 시간, 주파수, 노출 전력 등 상세 정보를 기록하고, 신뢰할 수 있는 워크플로우, 데이터 추적 기능을 제공하는 노출 보고 툴이 내장되어 있습니다. 이 기계는 다양한 자동 유지 관리 기능과 노출 과정을 모니터링하는 컬러 LCD 디스플레이 (Color LCD Display) 를 지원하는 간편한 유지 관리 및 작동을 위해 설계되었습니다. "스테퍼 '는 또한 내부 냉각재 와" 이오나이저' 와 배기 "필터 '를 갖추고 있으며, 유해 한 화학 물질 과 입자 에 노출 되지 않도록 사용자 를 보호 한다. 전반적으로 SCREEN RF-300A는 고급 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 제조에 고해상도 이미징 및 노출 정확도를 제공합니다. 견고하고 안정적인 기능과 함께, 스테퍼는 높은 처리량 생산 시나리오에 이상적입니다.