판매용 중고 SCREEN AT3M #293755248

SCREEN AT3M
제조사
SCREEN
모델
AT3M
ID: 293755248
Systems.
SCREEN AT3M은 고급 반도체 제조 공정을 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 정밀한 패턴이 기판에 전달되어 집적 회로를 만드는 반도체 제작 (semiconductor fabrication) 의 중요한 단계 인 포토 리토 그래피 (photolithography) 를위한 포괄적 인 솔루션을 제공합니다. AT3M 시스템은 다양한 기능을 통합하여 고해상도, 고해상도, 고해상도 패턴화 기능을 제공합니다. SCREEN AT3M 장치의 주요 기능 중 하나는 고급 노출 기술입니다. 이 기계는 정교한 광원, 일반적으로 깊은 자외선 (DUV) 레이저 또는 발광 다이오드 (LED) 를 사용하여 광사 코팅 된 기판을 선택적으로 노출시킵니다. 노출 과정은 높은 정밀도로 제어되며, 서브 미크론 해상도로 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 이 정확한 노출 기능은 점점 더 복잡한 형상을 가진 최첨단 반도체 장치를 제조하는 데 필수적입니다. AT3M 도구는 노출 기술 외에도 고급 정렬 및 오버레이 기능을 갖추고 있습니다. 정렬 (Alignment) 은 가면을 정확하게 정렬하는 프로세스로, 전송할 패턴을 기판과 함께 포함합니다. SCREEN AT3M (SCREEN AT3M) 자산은 정교한 정렬 센서와 알고리즘을 사용하여 마스크와 기판 사이의 정확한 정렬 (여러 레이어 패턴화) 을 보장합니다. 오버레이 (Overlay) 정확도는 최종 디바이스의 무결성을 보장하는 데 매우 중요합니다. 잘못된 정렬로 인해 결함이 발생하고 디바이스 성능이 저하될 수 있습니다. AT3M 모델의 또 다른 중요한 특징은 강력한 프로세스 제어 및 모니터링 기능입니다. 이 장비에는 온도, 습도, 노출 용량과 같은 주요 프로세스 매개변수를 지속적으로 모니터링하는 실시간 모니터링 센서가 장착되어 있습니다. 프로세스 제어 알고리즘은 이러한 매개변수를 실시간으로 조정하여 최적의 프로세스 조건을 유지하고 일관성 있는 패턴 (patterning) 성능을 보장합니다. 이 수준의 프로세스 제어는 높은 (높은) 프로세스 반복성 및 디바이스 생산성을 달성하는 데 필수적입니다. SCREEN AT3M 시스템은 기판 호환성 및 패턴 기능 면에서도 유연성을 제공합니다. 실리콘 웨이퍼, 유리 기판, 유연한 기판 등 다양한 기판 크기와 재료를 지원할 수 있습니다. 이 장치는 다른 장치 요구사항을 수용하기 위해 양성 (positive) 및 음성 (negative) 저항을 포함한 다양한 포토리스 (photoresist) 유형을 패턴화할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 반도체 제조업체는 AT3M 머신을 로직 (logic) 및 메모리 (memory) 장치에서 고급 패키징 기술에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 전반적으로 SCREEN AT3M 도구는 반도체 사진 해설을위한 최첨단 솔루션을 나타냅니다. 첨단 노출 기술, 정렬 및 오버레이 기능, 공정 제어 기능, 기판 유연성 등을 통해 고급 반도체 장치를 제조하는 다용도 도구입니다. AT3M 자산은 고해상도, 고해상도, 고해상도, 고해상도 패턴화 기능을 제공함으로써 반도체 제조업체가 장치 성능, 기능의 경계를 넓힐 수 있게 해 줍니다. "스크린AT3M (SCREEN AT3M) '모델은 기술 혁신의 선두에 서고자 하는 반도체 제조 시설에 귀중한 자산이다.
아직 리뷰가 없습니다