판매용 중고 SCL CDS 2000 #293803293

제조사
SCL
모델
CDS 2000
ID: 293803293
빈티지: 2007
Hard coater (2) Zones (2) Robots (2) Automatic conveyors Cycle time: 5 min Temperature: 5 to 20°C No compressed air Draining tank A/C Unit Lenses: 40 to 80 mm Flow direction: Left to right / Right to left Power supply: 400 V, 3 Phase, 16 kW 2007 vintage.
SCL CDS 2000은 고급 반도체 사진 해설을 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 광물질 (photoresist) 은 반도체 제작에 사용되는 중요한 물질로, 빛에 노출 될 때 화학적 변화를 겪는 빛에 민감한 필름 역할을합니다. 이 "시스템 '은 집적" 회로' 와 기타 전자 기기 의 생산 에 필수적 이다. CDS 2000 장치의 핵심에는 첨단 코팅 및 개발 기술 (Advanced Coating and Development Technology) 이 있으며, 이를 통해 뛰어난 균일성과 정밀도를 가진 포토 esist 물질을 증착하고 제거 할 수 있습니다. 이 기계에는 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 균일 한 포토 esist 재료 층을 적용하기위한 고성능 스핀 코터가 장착되어 있습니다. 이 단계 는 포토레시스트 "필름 '이 전체" 웨이퍼' 표면 에 걸쳐 원하는 두께 와 "커버리지 '를 갖도록 하는 데 중요 하다. 일단 광저항 물질 을 증착 시키면, "웨이퍼 '는" 반도체' 장치 에 대한 원하는 "패턴 '을 만들기 위한 일련의 노출 및 개발 단계 를 거치게 된다. SCL CDS 2000 도구는 자외선을 사용하여 마스크 패턴을 고해상도와 충실도 (fidelity) 가 높은 photoresist 레이어로 전송하는 정교한 노출 도구를 갖추고 있습니다. 이 단계는 반도체 장치 (예: 트랜지스터, 상호 연결 및 기타 컴포넌트) 의 복잡한 기능을 정의하는 데 중요합니다. 노출 후, 웨이퍼는 CDS 2000 자산의 개발 모듈에서 처리되어 노출되지 않은 포토레지스트 (photoresist) 재료를 제거하고 패턴화 된 피쳐를 드러냅니다. "포토레지스트 '가 선택적 으로 제거 되고, 기본 반도체 층 을 손상 시키지 않고 원하는" 패턴' 을 남기도록 개발 과정 을 주 의 깊이 조절 한다. 이 정밀도 (level of precision) 는 피쳐 치수를 완벽하게 제어하고 높은 장치 성능을 유지하는 데 필수적입니다. 첨단 코팅 및 개발 기능 외에도, SCL CDS 2000 모델에는 다양한 기능이 장착되어 있어, 반도체 제조의 생산성과 신뢰성을 향상시킵니다. 이 장비는 높은 처리량 (Throughput Operation) 을 위해 설계되었으며, 현대 반도체 생산 라인의 요구에 부응하기 위해 웨이퍼를 신속하게 처리 할 수 있습니다. 또한이 시스템은 고급 제어 알고리즘 (advanced control algorithms) 과 모니터링 (monitoring) 기능을 통합하여 photoresist 패턴화의 일관성 있고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 또한, CDS 2000 장치는 광범위한 포토 esist 재료와 호환되므로 반도체 제작의 다양한 응용 분야에 적합합니다. 이 기계는 양성 (positive) 이나 음성 (negative) 포토레시스트와 협력하든지 간에, 각 응용 프로그램의 특정 요구 사항을 충족시키기 위해 다른 재료 공식과 처리 조건을 수용 할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 반도체 업계의 변화하는 기술 추세에 매우 다양하고 적응할 수 있습니다 (영문). 전반적으로, SCL CDS 2000 포토레시스트 자산은 반도체 사진 해설을위한 최첨단 솔루션을 나타내며, 포토레시스트 재료 패턴에서 비교할 수없는 정밀도, 균일성 및 신뢰성을 제공합니다. 첨단 코팅 (coating) 및 개발 기능, 높은 처리량 운영, 다양한 포토레지스트 (photoresist) 소재와의 호환성을 갖춘 이 모델은 최신 반도체 제조의 까다로운 요구 사항에 적합합니다. 반도체 제조업체는 CDS 2000 장비 (CDS 2000) 의 기능을 활용하여 생산 공정에서 높은 수율, 엄격한 기능 제어, 뛰어난 장치 성능을 얻을 수 있습니다.
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