판매용 중고 SCL CD 500 #293661305

SCL CD 500은 FPD (Flat Panel Display) 및 반도체 장치의 저항 코팅 및 패턴화와 같은 중요한 생산 응용 프로그램을 수행하도록 설계된 통합 포토레스트 (Photoresist) 장비입니다. 고급 스핀 코팅 (spin coating) 과 소프트 베이킹 (soft baking) 기술을 정확한 웨이퍼 레벨링 및 크리티컬 클리닝과 결합하여 매우 균일 한 저항 코팅을 제공합니다. CD 500에는 350mm 프로세스와 최대 8 인치의 웨이퍼 크기를 지원하는 300mm x 300mm 챔버가 장착되어 있습니다. 최대 4,500 rpm까지 코팅하고 굽는 데 높은 정밀 스핀 헤드를 사용하며, 최대 2 ° 오프 플레인 틸트 (off-plane tilt) 가있는 웨이퍼뿐만 아니라 정적 웨이퍼를 수용합니다. 이 시스템은 부착 버블 셋업 (bubbling setup) 기술을 갖춘 통합 캐리어를 갖추고 있으며, 최소 파편으로 포토 esist를 빠르게 용해시킬 수 있습니다. 이것은 더 정확하고 균일 한 저항 코팅을 허용합니다. 이 장치는 또한 전자빔, 액정 저항제, 고체 유형 및 기타와 같은 표준 및 고급 포토 esist 물질과 호환됩니다. 저항 코팅의 경우, SCL CD 500에는 기판 및 기판 척 평탄도를 유지하기위한 고급 모션이 포함되어 있으며, 정확하게 균일 한 코팅이 가능합니다. CD 500 의 스핀 헤드 (spin head) 에는 다양한 스핀 속도 설정이 포함되어 있어 사용자가 포토레지스트의 유형과 두께에 맞게 속도를 조정할 수 있습니다. 패터닝 및 에칭 프로세스를 위해, 기계는 포토 esist 레이어의 균일 한 패턴화를 보장하기 위해 다중 노즐 (nozzle) 과 위치 정확도 (position accuracy) 가 1m인 높은 정밀 스프레이 레벨을 제공한다. 통합 드레인 밸브 (integrated drain valve) 는 포토 esist 액체의 적절한 처리를 보장하는 반면, 통합 진공 펌프는 거품을 최소화하여 기판에 매우 균일하고 밀도 높은 포토 esist를 형성하는 데 도움이됩니다. SCL CD 500은 매우 정밀하고 자동화된 포토레시스트 (photoresist) 툴로, 까다로운 FPD 및 반도체 어플리케이션을 위한 최상의 품질의 결과를 효과적으로 제공하도록 설계되었습니다. 첨단 기능과 기술은 매우 균일하고 깨끗한 포토리스 스틱 코팅 (photoresist coating) 과 패턴을 보장하며, 일관된 프로세스 결과를 제공하고 복잡한 FPD 응용 프로그램을 바람으로 만듭니다.