판매용 중고 SCL CD 1000 A3 #9022279

제조사
SCL
모델
CD 1000 A3
ID: 9022279
빈티지: 1999
Hard coater, 1999 vintage.
SCL CD 1000 A3는 반도체 소자 제조를위한 포토 esist 장비입니다. 이 자동화 된 시스템을 사용하면 수차 투영 노출이 적은 웨이퍼에 포토레시스트 (photoresist) 레이어를 정확하게 노출시키고 개발할 수 있습니다. SCL CD 1000은 고급 옵티컬 유닛 (optical unit) 을 사용하며 뛰어난 이미징 특성을 얻기 위해 고유한 기능을 갖추고 있습니다. 수심이 긴 고품질 광학 머신 (Optical Machine) 을 갖추고 있으며 고해상도를 보장하도록 특별히 설계되었습니다. 낮은 수차 투영 도구와 뛰어난 해상도 0.2 µm로 CD 1000 A3는 뛰어난 화질을 쉽게 만들 수 있습니다. 에셋은 3 차원 정렬로 구성된 심층 사진으로 인해 정밀도가 높습니다. 이러한 정렬 기능을 통해 정확한 초점 (focusing point) 을 확보하여 운영 주기 시간을 단축할 수 있습니다. 또한 "웨이퍼 '의 각" 인치' 에 대한 노출 정확도 를 높여 감광 "패턴 '의 전반적 정확도 를 향상 시킨다. SCL CD 1000 A3에는 "고해상도, 고정밀도, 고속" 처리량 개발을 위한 통합 모델도 장착되어 있습니다. 여기에는 온라인 프로세스 제어 (Online Process Control) 를 활용하는 장비가 포함되어 있어 단기간 내에서도 매우 정밀한 처리 및 생산성을 얻을 수 있습니다. 또한 UV, Deep UV 및 Laser 광원과 같은 다양한 조명 유형을 제공합니다. 이러한 소스를 사용하면 애플리케이션에 따라 노출 조건을 쉽게 변경할 수 있습니다. 전반적으로 CD 1000 A3는 반도체 소자 제조를위한 우수한 광미증 시스템입니다. 즉, 사용자에게 생산에 대한 높은 수준의 정확성과 정확성을 제공하며, 처리량 (high-throughput) 개발을 보장하는 통합형 유닛이 장착되어 있습니다. 또한 다양한 애플리케이션 요구 사항을 충족하는 다양한 조명 유형을 제공합니다.
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