판매용 중고 SCHMIEDESKAMP 455 M4 #188883
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SCHMIEDESKAMP 455 M4 (SCHMIEDESKAMP 455 M4) 는 기판 표면에 포토 esist 레이어를 증착하도록 설계된 고성능 자동 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 자동 분배 장치, 고정밀 스핀코터 및 스핀 드라이어 (spin-dryer) 의 3 가지 통합 구성 요소로 구성됩니다. 통합 분배기 (Integrated Dispensing Machine) 는 제어되고 재현이 가능한 방식으로 액체 광물질을 기판 표면에 정확하고 자동으로 분배하도록 설계되었습니다. "스핀코우터 '에는" 레이저' 판독기 와 정밀 한 "스핀들 '이 장착 되어 기판 표면 에 광미술자 를 정밀 하게 증착 시킨다. 스핀 코트 (Spincoater) 는 또한 표면을 가로 질러 포토 esist를 균일하게 적용하도록 설계되었으며, 스핀 드라이어 (spin-dryer) 는 치료하기 전에 과도한 물질이 균등하게 분배되도록 도와줍니다. 마지막으로, 스핀 드라이어 (spin-dryer) 는 치료 과정을 가속화하여 더 큰 제어 시간과 치료 시간을 모두 허용합니다. 공구의 성능은 정밀 스핀들 (spindle) 에 의해 향상되었으며, 높은 정확도와 정확한 순환 움직임이 있습니다. 이것 은 "포토레지스트 '를 증착 할 때 더 나은 해상도 를 가능 하게 하여, 고도 로 재생 가능 한" 패턴' 을 일관성 있게 정확 하게 증착 시킨다. 또한, 자동 분배 자산 (automated dispensing asset) 은 분배 된 포토 esist의 정확한 추적, 최적의 치료를위한 온도 조절을 통해 반복 가능한 프로세스의 정확성을 보장하는 데 도움이됩니다. 분배 (dispense) 및 치료 (curing) 프로세스의 정확성과 정밀도를 조합하면 에칭 (etching) 과 같은 후속 프로세스에서 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 455 M4 의 기능 조합은 다양한 포토레지스트 (photoresist) 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. "정밀도 '와" 정확도' 는 컨택트 프린팅 (contact printing) 과 같은 세밀한 포토레시스트 애플리케이션에 이상적이며, 고속 기능과 자동화된 프로세스는 높은 처리량, 대용량 생산에 이상적입니다. 게다가 반자동 (semi-automated) 공정은 제조 공정의 비용 효율성을 유지하는 데 도움이 되므로 많은 포토리스 (photoresist) 응용 프로그램에 적합한 선택입니다.
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