판매용 중고 SCHAAF TECHNOLOGIES GMBH 320 #9212900
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샤프 테크놀로지스 (SCHAAF TECHNOLOGIES) GMBH 320은 반도체 제조 공정의 일환으로 세라믹 필름을 기판에 증착 할 수있는 포토 esist 장비이다. 이 시스템은 '화학 증기 증착' (CVD) 이라고하는 반도체 제조 접근법을 사용하여 원하는 기판에 얇은 세라믹 층을 증착시킵니다. 증착은 가열 된 환경에서 이루어지며, 여기서 실란, 산소, 질소와 같은 증기 형태의 반응물이 챔버에 주입됩니다. 반응물은 기질 표면에서 분해되어, 기판에 직접 저항성 세라믹 코팅을 형성한다. 이 고도로 통제 된 증착 과정은 다양한 반도체 응용 분야에 이상적인 박막을 제공합니다. 결과 세라믹 코팅은 전자 부품의 화학 내성, 분리, 수동화에 사용되거나 생의학에서 유기 구조의 보호 코팅으로 사용될 수있다. 이 층은 매우 적합하지만 마모 (wear) 와 눈물 (tear) 에 강하고 고온에 반복적으로 노출됩니다. 320은 고품질 박막 증착을 위해 배치 (batch) 및 인라인 (inline) 공정에서 모두 사용될 수 있습니다. 이 장치는 실레인 (silane), 산소 (oxygen), 질소 (nitrogen) 와 같은 일반적으로 사용되는 전구체와 호환되도록 설계되어 특정 응용 프로그램에 증착 특성을 사용자 정의할 수 있습니다. 압력, 온도, 반응물 농도와 같은 제어 매개변수를 정확하게 수정하여 결과를 최적화 할 수 있습니다. 이 기계는 단계별 증착 프로세스 (step-wise deposition process) 를 특징으로하며, 여기서 반응물은 제어 환경에 점진적으로 도입되어 일관된 박막 증착이 가능합니다. 마지막으로, SCHAAF TECHNOLOGIES GMBH 320은 안전하고 안정적인 도구이며, 모든 구성 요소는 보호 주택 내부에 있습니다. 이 자산에는 챔버 (chamber) 를 보호하는 냉각모델과 장비의 성능을 항상 모니터링하는 센서 어레이 (sensor array) 가 내장되어 있습니다. 전체 "시스템 '은 가능 한 한 소형화 되도록 설계 되었는데, 이" 시스템' 은 크기 와 공간 요구 조건 에 제약적 인 어떤 환경 에도 이상적 인 해결책 이 된다.
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