판매용 중고 SATISLOH MC-380 #293825427

SATISLOH MC-380
ID: 293825427
AR Coater.
SATISLOH MC-380은 반도체 산업에서 고정밀 광학 응용 분야를 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 고급 시스템 (Advanced System) 은 뛰어난 코팅 및 개발 기능을 제공하여 포토마스크 및 기타 광학 부품 (뛰어난 해상도와 정확도) 을 패턴화하는 데 필수적인 도구입니다. MC-380 유닛의 핵심에는 유리 (glass) 또는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 와 같은 기판에 포토 esist 물질을 균일하고 통제 할 수있는 정확한 스핀 코팅 메커니즘이 있습니다. 이 기계는 고급 알고리즘 (advanced algorithms) 과 프로세스 제어 (process control) 메커니즘을 사용하여 전체 기판 표면에서 일관된 코팅 두께와 우수한 커버리지를 보장합니다. 따라서 패턴 충실도 (pattern fidelity) 가 향상되고 최종 photomask 또는 광학 컴포넌트의 결함이 줄어듭니다. SATISLOH MC-380 도구는 또한 응용된 포토 esist 레이어를 신속하게 치료하는 고속 베이킹 모듈을 갖추고 있습니다. 이 단계는 포토 esist의 접착력과 내구성을 향상시키는 데 중요합니다. 따라서 자외선 (UV light) 과 발달 노출 (development) 과 같은 후속 처리 단계를 견딜 수 있습니다. 베이킹 모듈의 정확한 온도 및 시간 제어 (temperate and time control) 기능은 치료 프로세스를 최적화하고 포토레지스트 레이어의 뒤틀기 (warping) 또는 크래킹 (cracking) 과 같은 문제를 방지하는 데 도움이됩니다. MC-380 에셋에는 코팅 (coating) 및 베이킹 (baking) 뿐만 아니라, 원치 않는 포토레지스트 재료를 효율적으로 제거 할 수있는 고성능 개발 모듈이 장착되어 있습니다. 이 모델은 고급 화학 용액 (advanced chemical solution) 과 제어 동요를 사용하여 광저장층의 노출되거나 노출되지 않은 영역을 선택적으로 용해시켜 충실도 (fidelity) 와 해상도가 높은 원하는 패턴을 드러냅니다. 개발 과정 은 기본 기판 의 손상 을 최소화 하고, 전체 표면 에 걸쳐 "패턴 '의 균일성 을 보장 하기 위해 주의 깊이 최적화 된다. SATISLOH MC-380 장비의 주요 장점 중 하나는 다양한 포토레지스트 (photoresist) 재료와 처리 매개변수를 수용하는 데 있어 다양성과 유연성입니다. 이 시스템은 다양한 유형의 양성 (positive) 및 음성 (negative) 포토리스트 및 다양한 기판 크기와 모양을 지원하도록 설계되었습니다. 이러한 적응성은 MC-380 유닛이 연구 개발 활동에 이상적이며, 반도체 및 디스플레이 산업의 다양한 응용 분야에 대한 대량의 포토 마스크 (photomask) 및 광학 부품 생산에 이상적입니다. 또한 SATISLOH MC-380 기계에는 고급 모니터링 및 제어 기능이 장착되어 있어 코팅 두께, 온도, 개발 시간 등 프로세스 매개 변수를 실시간으로 추적할 수 있습니다. 이 데이터 피드백 루프 (feedback loop) 를 통해 운영자는 즉시 조정하고 최적화하여 모든 실행에서 일관되고 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 종합적인 안전 기능 (Safety Features) 과 인체 공학적 설계 요소가 장착되어 있어 가용 및 운영자의 편리성을 향상시킵니다. 요약하면, MC-380 포토레시스트 (photoresist) 자산은 반도체 업계에서 광학 부품의 정확하고 효율적인 패턴화를 위한 최첨단 솔루션을 나타냅니다. 고급 코팅 (coating), 베이킹 (baking) 및 개발 기능을 갖춘 이 모델은 뛰어난 충실도와 반복성으로 고해상도 패턴화를 가능하게 합니다. 다용도, 유연성, 고급 프로세스 제어 (process control) 기능으로 인해 제품에서 뛰어난 광학 성능을 달성하려는 연구자와 제조업체에게는 없어서는 안될 도구입니다.
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