판매용 중고 SAMCO RPC-300 #9185661

제조사
SAMCO
모델
RPC-300
ID: 9185661
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 2011
Photoresist system, 4" 2011 vintage.
삼코 RPC-300 (SAMCO RPC-300) 은 여러 기질의 정확한 저항 코팅 및 개발을 제공하기 위해 특별히 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 처리량이 많은 뛰어난 성능과 안정성을 제공합니다. RPC-300은 85 ° C로 가열 된 인라인 멀티 스텝 챔버를 사용하여 프로세스의 뛰어난 해상도와 균일성을 제공합니다. 이 장치는 포토 마스크 정렬의 자동화로 포토 esist의 박막 (thin film) 을 균일하게 적용하여 더 높은 수율과 더 나은 정밀도를 얻을 수 있습니다. SAMCO RPC-300은 모든 단계에 대한 자동 정밀 제어를 제공하기 위해 PLC에 의해 구동됩니다. 여기에는 PID 피드백이 포함된 디지털 온도 컨트롤러 (PID feedback) 가 포함되어 있어 온도 조절이 정확하고 온도 범위가 넓습니다. 고급 열 제어 및 정확한 저항 수준 (+/-0.5 ° C) 을 사용하여 수율을 최대화합니다. 이 기계는 또한 정확한 액체 흐름 모니터와 디지털 플로미터 (flowmeter) 를 사용하여 제어합니다. 이것 은 정확 한 정확도 로 "포토레지스트 '의 양 을 기판 재료 에 적용 시킨다. RPC-300은 여러 기술을 사용하여 스핀 코팅, 대류 코팅, 라미네이션, 드라이 필름 응용 프로그램, 와셔 기술 등 고해상도 이미징을 만듭니다. 또한 빠른 단일 패스 이미징 (single pass imaging) 을 제공하여 보다 조용한 작업과 높은 수준의 정확성을 동시에 제공합니다. SAMCO RPC-300은 고정밀 이미징을 위해 X, Y 및 세타 동작을 사용합니다. 삼중 축 이미징 도구는 기판에 매우 정확한 photomask 정렬을 제공합니다. RPC-300은 환경 친화적이며 CleanAir 기술을 사용하여 대기 오염을 줄입니다. 또한, 사용자는 컴퓨터를 운영하는 동안 안전하게 유지되도록 방화용 (Fire Prevention) 기능이 내장되어 있습니다. 삼코 RPC-300 (SAMCO RPC-300) 은 다양한 기판 재료의 정확한 저항 코팅 및 개발을 제공하는 많은 기능을 포장하는 강력한 자산입니다. 높은 수준의 신뢰성, 정확성, 처리량을 제공하는 '포토레지스트 (photoresist)' 시스템을 위한 이상적인 선택입니다.
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