판매용 중고 S CUBED / S3 TX535C #9179981

S CUBED/S3 TX535C는 광범위한 사진 제작 프로세스를 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 강력한 단파 방사선 원, 기판 위치를위한 웨이퍼 스테이지, 포토 esist를위한 자동 처리 시스템 (automated handling system) 으로 구성됩니다. 이 장치는 20nm의 기판 해상도와 1.0 미크론의 기능 크기를 제공 할 수 있습니다. S3 TX535C에 사용되는 방사선 소스는 초단파 엑시머 레이저로, 200 나노 미터 ~ 350 나노 미터의 파장 범위를 허용합니다. 레이저는 최대 460 나노 초의 펄스를 생성 할 수 있으며, 20 나노 미터의 공간 해상도를 산출합니다. 또한, "레이저 '는 각" 펄스' 의 파형 을 제어 할 수 있으므로 "레이저 '광선 의 강도 분포 를 잘 조절 할 수 있다. S CUBED TX535C의 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 에는 XYZ 동력 조정 머신과 온도 안정화 도구가 있으며, 이는 정확하고 신뢰할 수있는 기판 위치를 허용합니다. 또한 진동 감쇠 에셋 (vibration dampening asset) 을 특징으로하여 포토 esist 프로세스 동안 기질이 안정적으로 유지되고 직경이 최대 8 "인 기질을 수용 할 수 있습니다. TX535C의 자동 제어 처리 (automatically controlled handling) 모델은 프로세스를 효율적이고 일관되게 만드는 데 도움이 됩니다. 자동 로봇 암을 통해 포토리스 연주자를 로드, 정렬 및 언로드하여 정확성을 보장하고 사람의 오차를 줄입니다. 이 장비는 또한 각 구성 요소의 성능을 추적할 수 있도록 설계되었으며, 이 (가) 원하는 결과를 일관되게 생성하도록 합니다. 결론적으로, S CUBED/S3 TX535C는 20 나노 미터의 작은 해상도에서 일관된 결과를 제공하도록 설계된 고급 포토 esist 시스템입니다. 단파장 엑시머 레이저 (excimer laser), 고급 웨이퍼 스테이지 (advanced wafer stage), 자동 처리 장치 (automated handling unit) 의 조합으로 신뢰할 수있는 포토레시스트 프로세스를 위한 강력한 도구입니다.