판매용 중고 RITE TRACK SVG 8800 #9209018
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RITE TRACK SVG 8800 (RITE TRACK SVG 8800) 은 다양한 기판에 감광 물질의 필름을 퇴적하고 패턴화하는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 단계 및 반복 (step and repeat) 프로세스를 사용하여 광소시스트를 노출시키고 에치 (etch) 한 후 제거하여 광소시스트 레이어로 패턴화된 기판을 남깁니다. 이 장치는 고급, 고속 노출 헤드, 8 또는 12 메가 픽셀 해상도 이미지 캡처, 자동 정렬을 사용하여 최고 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. PrE-8 소프트웨어는 시스템을 제어하며 파일 관리 및 조작을 용이하게 합니다. 소프트웨어는 동일한 레이어나 다른 레이어를 사용하여 여러 레이어를 패턴화할 수 있으며, 단면 (single sided) 레이어와 양면 (double sided) 레이어 모두에 대해 직접 (direct) 프로세스와 역방향 (reverse) 프로세스를 모두 사용할 수 있습니다. 이 도구는 솔리드, 액체, 젤 등 다양한 포토레시스트 (photoresist) 재료를 처리하도록 설계되었습니다. 호환 물질에는 폴리 이마 이드, 폴리 카르 보네이트, 폴리 에스테르, 에폭시, 폴리 우레탄 및 코 폴리머가 포함됩니다. 에셋은 최대 12 인치 너비의 기판과 최대 0.1 인치의 두께를 처리 할 수 있습니다. 노출 헤드는 최대 300 배의 광학 확대를 특징으로하며, 1 미크론의 오버레이 해상도로 3 미크론 정도의 작은 기능을 생성 할 수 있습니다. 강력한 레이저 (Laser) 는 원하는 포토레지스트 패턴을 달성하기 위해 고속 노출과 함께 정확한 공간 해상도를 제공합니다. 이 모델은 또한 내장형 클리닝 스테이션 (built-in cleaning station) 을 통해 각 프로세스 전후에 처리된 기판을 안전하고 철저히 정리할 수 있습니다. 이것은 노출 된 포토 esist 레이어가 에칭 전에 오염에 의해 손상되지 않도록 도와줍니다. SVG 8800 은 정밀 장치 업계에서 사용할 수 있는, 안정적이고 효과적인 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 고속 노출 헤드, 8 또는 12 메가 픽셀 해상도 이미지 캡처, 자동 정렬, 내장 클리닝 스테이션은 안정적이고 정확한 결과를 원하는 사람들에게 매력적인 선택입니다.
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