판매용 중고 RITE TRACK SVG 8800 #9097217

RITE TRACK SVG 8800
ID: 9097217
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2002
Coater system, 6", 2002 vintage.
라이트 트랙 SVG 8800 (RITE TRACK SVG 8800) 은 광석기 공정에 대한 산업 등급의 정확성과 정확성을 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템을 사용하면 기존의 사진 (photolithography) 기술을 통해 달성하기 어려운 초미세 디테일로 섬세하고 복잡한 모양으로 사진을 제작할 수 있습니다. SVG 8800은 레이저 장치, 스캐너, 포토 esist 소프트웨어, 기판, 개발자 및 마스킹 재료를 포함한 여러 핵심 구성 요소로 구성됩니다. 레이저 머신은 엑시머 UV 레이저 라이트를 사용하여 주어진 기판 (예: 반도체 웨이퍼 또는 마스크) 에 미세한 기능을 패턴화합니다. 이 상세한 고해상도 조각은 고속 디플렉터 (High Speed Deflector) 와 서브미크론 어드레서 (Submicron Addressor) 를 사용하여 레이저 빔을 빠르게 이동시키고 원하는 구조물이 표면에 에칭되는 재료에 정확하게 초점을 맞춥니다. 스캐너는 고해상도 이미징 센서를 사용하여 기판에 인쇄된 모양을 감지하고 분석합니다. 그런 다음 photoresist 소프트웨어는 이 정보를 원하는 출력 요구사항과 결합하여 photolithic 패턴을 만듭니다. 그런 다음 이 설계는 레이저 도구 (Laser Tool) 가 기능을 기판에 정확하게 에칭하는 데 사용할 수 있는 컴퓨터 생성 그래픽 패턴 (computer-generated version of graphic pattern) 으로 변환됩니다. 기판은 레이저가 조각하는 데 사용되는 재료입니다. 이것은 모든 유형의 재료 일 수 있으며, 일반적으로 사진 (photolithography) 프로세스의 요구 사항에 맞게 선택됩니다. 예 를 들어, 반도체 "웨이퍼 '는" 레이저' 를 견디거나 그 후 에 빨리 제거 할 수 있는 물질 을 필요 로 한다. 또한 기판 은 "레이저 '빛 이" 에치' 할 물질 의 면적 에 정확 히 초점 을 맞출 수 있도록 올바른 광학 특성 을 가지고 있어야 한다. 개발자는 기판에서 원치 않는 잔류 물을 씻고 에치 (etch) 하는 데 사용되는 솔루션입니다. 이렇게 하면 이미지를 세밀하게 조정하고, 패턴화된 재료에 더 복잡한 디자인과 더 자세한 피쳐를 생성할 수 있습니다. 마지막 으로, "마스킹 '재료 는" 레이저' 가 새겨진 면적 을 덮고 원치 않는 빛 의 노출 으로부터 보호 하는 데 사용 된다. 이렇게 하면 에칭 중인 그래픽의 모든 복잡한 피쳐가 마스킹 재료 (masking material) 에 의해 커버된 영역에서만 볼 수 있습니다. 결론적으로, RITE TRACK SVG 8800은 산업 등급 사진 분석 프로세스를 제공하여 매우 정확하고 복잡한 패턴을 생성하는 포괄적 인 자산입니다. 여러 가지 구성 요소로 구성되어 있으며, 모두 필요한 프로세스를 염두에 두고 특별히 설계되어야 합니다. 즉, 모든 구성 요소가 필요합니다. SVG 8800 은 다양한 기판에 상세한 에칭 (etching) 을 만들 수 있으며, 이어서 개발자 솔루션 (developer solution) 과 마스킹 자료 (masking material) 를 사용하여 더욱 사용자 정의할 수 있습니다.
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