판매용 중고 PVA Delta 8 #293623207
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ID: 293623207
빈티지: 2018
Conformal coating machine
Hose: SSMPC / TEFLON
Flux material: Rosin-based
(4) Motion axes: X, Y, Z (Top), and Z (Bottom)
(4) Controller axes
Spare valves
Controller: 4000
X-Stroke: 621 mm
Ballscrew lead: 10mm/rev
Y-Stroke: 595 mm
Ballscrew lead: 10mm/rev
(2) Z-Strokes: 90 mm
Ballscrew lead: 1mm/rev
Heads 1 and 2:
Top and bottom valve
Z-Slide
FCS300-F Valve
Atom air range: 0-15 PSI
SMC
KALREZ O-Ring
Liner pressure vessel (2 Gal)
Air requirement: 80-100 PSI
Dry
CFM: <10
KALREZ O-Ring
Guarding:
Interlock doors
Bellows: Metal side gap panel
Light tower
Process control:
Low level
PC
OIT Portal
White light
Ventilation:
Minimum CFM: 600
PVA Blower
Exhaust switch
Flange diameter, 6"
Blower exit diameter, 6"
Upper side panel
Syringe supply:
(2) 30cc Air caps 0-60 PSI regulator with digital pressure switches
Power supply: 120, 208-230 VAC, 3 Phase, 60 Hz, 15 A
2018 vintage.
PVA 델타 8 (Delta 8) 은 반도체 장치 및 기타 마이크로 일렉트로닉 구조를 이미징 할 수있는 포토 리토 그래피 프로세스에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 photoresist 시스템은 PVA (polyvinylalcohol) 로 알려진 폴리머 물질 층으로 구성되며, 이 장치는 장치와 photoresist 필름 사이의 마스킹 제로 작용합니다. 델타 8 (Delta 8) 포토레스 장치 (photoresist unit) 는 자외선에 매우 높은 감도를 가지며 피쳐 크기를 8 미크론까지 해결할 수 있습니다. 특히 소형의 기능 크기와 고해상도 (high resolution) 이미지가 필요한 장치 및 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 구조에 유용합니다. PVA Delta 8 photoresist 기계는 photoresist, basecoating material, etch resistant material 및 polymer film의 4 가지 구성 요소로 구성됩니다. photoresist 레이어는 UV 라이트를 사용하여 패턴화되며 이미징 레이어 역할을합니다. 원하는 피쳐의 이미지를 생성하기 위해 개발된 패턴 (patterned) 영역을 선택적으로 노출시킵니다. 베이스코팅 레이어 (basecoating layer) 는 포토레스 레이어의 캐리어 역할을하며, 이미징 프로세스의 정확성을 보장하는 데 필요한 안정성을 제공하는 재료입니다. 에치 저항성 재료 (etch resistance material) 는 에칭 중 피쳐를 보호하며 다양한 재료를 커버하도록 설계 될 수 있습니다. 마지막으로, 폴리머 필름 (polymer film) 은 이미징 프로세스를 봉인하고 구조를 보호하는 유연한 층입니다. 델타 8 photoresist 도구는 디지털 micromirror 장치 (DMD) 및 매우 높은 해상도를 필요로 하는 기타 장치에 적합합니다. 에셋은 디스플레이, 미세 유체 센서 및 기타 MEMS와 같은 장치에 사용할 수 있습니다. PVA Delta 8 photoresist 모델은 미세 전자 공정에 필수적인 도구입니다. 고감도 (High Sensitivity) 와 해상도를 통해 매우 작은 장치와 구조를 정확하고 내구성이 뛰어난 이미지로 이미징할 수 있습니다. 이 장비는 다양한 공정 (process) 과 재료 (material) 에 사용될 수 있으므로 가장 정확한 요구 사항이 충족됩니다.
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