판매용 중고 PVA 6000 #9222892

제조사
PVA
모델
6000
ID: 9222892
빈티지: 2013
Conformal coating system, parts system With spare parts 2013 vintage.
PVA 6000 (PVA 6000) 은 캐논 (Canon) 이 개발 한 포토 esist 장비로 매우 미세한 해상도의 기능을 만드는 데 사용됩니다. 반도체 웨이퍼에 사용하도록 설계되었으며, 캐논 (Canon) 이 초정밀 저항 제품 라인에서 개발 한 가장 발전된 포토 esist입니다. 6000의 주요 특징은 High-NA HDR 이미징, 소형 노출 장치 및 Canon 독점 ARTechnano G 시스템입니다. High-NA HDR (High Numerical Aperture High Depth Resolution) 이미징 기술은 스핀 코팅, 이미징 및 에칭에서 뛰어난 일관성을 갖춘 매우 훌륭한 기능을 생산합니다. 컴팩트 노출 장치 (Compact Exposure Unit) 를 사용하면 클린 룸 환경에서 우수한 성능을 발휘하고 노출 시간을 단축할 수 있습니다. ARTechnano G 장치는 간단한 인터페이스에 의해 제어되는 쉽게 사전 설계된 노출 모양을 통해 매우 다양한 복잡한 패턴을 생성합니다. 이 기계는 Canon 노출 장치 및 photoresist 도구의 기본 해상도와 40 나노 미터 하위 패턴 기능을 결합합니다. PVA 6000은 photomask를 만들 때 뛰어난 유연성을 제공합니다. 이른바 "노출 (exposure) '영역의 하위 해상도 (sub-resolution) 수준을 제어할 수 있는 기능으로, 높은 정밀도의 대규모 패턴과 매우 높은 해상도의 고밀도 패턴을 모두 만들 수 있다. 에셋 (asset) 은 또한 사용자에게 다양한 조건과 재료에 맞게 조정할 수 있는 다양한 노출 설정 (exposure setting) 을 제공합니다. 6000은 또한 완전히 자동화 된 거부 식별 기능으로 한 단계 더 나아갑니다. 이 기능은 결함 패턴을 감지하고 자동으로 거부하여 오류를 줄이고 제조 수율을 향상시킬 수 있습니다 (영문). 전반적으로 PVA 6000은 놀라운 포토 esist 모델입니다. 캐논 (Canon) 의 오랜 품질에 대한 명성과 결합된 인상적인 기능 목록은 반도체 웨이퍼 (wafer) 기능 생산에 탁월한 선택입니다.
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