판매용 중고 PRAXAIR CoArc 9910 #293591595

PRAXAIR CoArc 9910 포토 esist 장비는 광범위한 산업을위한 마이크로 일렉트로닉 장치 제작에 사용되는 최첨단 도구입니다. 무늬를 기판의 표면에 전달하는 데 사용되는 공정 (photolithography) 인 포토리토그래피 (photolithography) 를 활용하는 본격적인 자동화된 시스템이다. 사진 촬영 (Photolithography) 은 칩, 집적 회로 및 기타 전자 장치의 소형화 인 마이크로 머키닝의 초석입니다. CoArc 9910은 고해상도 광학 투영 장치 (optical projection unit) 를 사용하여 기판 위에 광감각성 물질 (photoresist) 이라고 불리는 균일 한 층을 노출시킵니다. 최대 914 mm x 914 mm의 기판 크기로 작업하는 PRAXAIR CoArc 9910은 시장에서 다른 시스템보다 큰 크기의 생산을위한 문을 열었습니다. 이 포토 esist 머신에는 200mm에서 880mm까지 다양한 길이의 최대 20 기판 카세트에 대한 오토 로더 (autoloader) 가 제공되어 지속적인 생산에 필요한 시간을 줄입니다. CoArc 9910은 365 nm ~ 113 nm의 석판화 파장을 사용하여 다양한 산업에서 응용 할 수 있습니다. 5 채널 스핀 코터 (spin coater) 는 독립 펌프 및 프라임 함수뿐만 아니라 여러 기판에서 동시에 별도의 프로세스를 허용합니다. PRAXAIR CoArc 9910에는 다양한 크기의 최대 26 ~ 8 인치 또는 25 ~ 12 인치 기판을 처리 할 수있는 옵션 웨이퍼 분류기 (옵션) 가 포함되어 있으며, 총 39 개의 웨이퍼에 3 번째 트랜스퍼 암을 부착 할 수 있습니다. 전반적으로 CoArc 9910 photoresist 도구의 기능은 사용자에게 업계 동료를 초과하는 기능을 제공합니다. 최하위 정밀 광학 프로젝션 (Optical Projection) 기능은 기판에 고해상도 패턴이 필요한 산업에 이상적입니다. 의료 기기 산업 에서 반도체 산업 에 이르기 까지, 그리고 그 외 에도, PRAXAIR CoArc 9910 은 여러 가지 응용 분야 를 수용 할 수 있도록 제작 되어 있으며, 그 들 의 "마이크로 머키닝 '사업 에서 회사 들 을 도울 준비 가 되어 있다.