판매용 중고 POLYTEKNIK Cryofox Explorer 600 #9189760
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ID: 9189760
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2007
Thin film coating system, 8"
(4) Pockets
Wafer load, 6"
E-beam source
No magnetrons
No water cooled substrate
Turbo pump
Roughening pump
Technical specifications:
Vacuum system, standard: TMP1: 240 l/s, TMP2: 400 l/s, RP: 35 m³/h dry pump
Base pressure: 1E^-7 mbar range
Electric supply: 3 x 400 V, 7 kVA peak
Cooling water supply: 18°C-25°C, max 6 kW cooling capacity peak
Cooling water flow: 18 L/min, 5 bar max pressure difference
2007 vintage.
POLYTEKNIK Cryofox Explorer 600은 고품질 이미징 및 정밀 에칭을 가능하게하도록 설계된 포토리스트 장비입니다. 이 시스템은 포토 esist의 열 전도성을 감소시키는 독특한 콜드-에칭 기술 (cold-etching technology) 을 특징으로하여 에칭 프로세스 중 정밀도를 높입니다. 또한 익스플로러 600 (Explorer 600) 은 온도 조절 베이크 스테이션을 제공하며, 최대 130 ° C까지 도달 할 수 있으며, 다양한 작업에 걸쳐 일관된 결과에 유리합니다. 익스플로러 600 (Explorer 600) 에는 간결하고 인체 공학적으로 설계된 터치 스크린 인터페이스 및 코드 지원 프로파일 (profile customization) 이 장착되어 있어 사용자가 쉽게 장치의 다양한 매개변수에 액세스 할 수 있습니다. 이 포토 esist 머신은 1.8kW 고출력 이산화탄소 레이저 (CO2 레이저) 를 특징으로하며, 비슷한 저항계보다 높은 품질의 이미징 해상도를 제공합니다. 레이저는 최대 6 "기판을 최대 5" 의 매우 정밀한 선 너비로 패턴화 할 수 있으며, 포장 및 프로토 타입 (prototyping) 과 같은 응용 분야에 유익합니다. "레이저 '는 또한 강도 를 조정 할 수 있는" 파라미터' 를 가지고 있어서 대용량 생산 을 위한 빠른 처리 시간 을 촉진 시킨다. Explorer 600 photoresist 도구에는 5 가지 유형의 처리 레시피와 다양한 기판 캐리어가 있습니다. 다양한 압력 밀봉으로, 기계는 최대 6 "크기의 일반적인 장치 기판 재료를 처리 할 수 있습니다. 처리 챔버 (Processing Chamber) 의 향상된 안전 제어 (Safety Control) 를 통해 운영 업체가 고도로 제어된 환경에서 웨이퍼 장착 (Wafer Mounting) 및 정렬 (Alignment) 과 같은 처리 작업을 수행할 수 있습니다. 익스플로러 600 (Explorer 600) 은 균형 잡힌 프로세스 매개변수, 고해상도 이미징 해상도, 다양한 기판을 패턴화할 수 있는 기능에 적합합니다. 자동화와 신뢰성을 염두에 두고 설계된 포토레시스트 (photoresist) 자산은 반복 가능한 결과와 포괄적인 성능 데이터를 보장합니다. 내구성이 뛰어난 구성 및 낮은 유지 관리 요구 사항으로 인해 익스플로러 600 (Explorer 600) 은 최고의 효율성과 고품질 결과를 얻으려는 사용자에게 귀중한 도구입니다.
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