판매용 중고 PICOTRACK PCT-100RRE #9303107
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PICOTRACK PCT-100RRE는 깨끗하고, 일관성 있고, 반복 가능한 반도체 장치 제작을 위해 설계된 고급형 포토리스 처리 장비입니다. 고급 제작 기술 생산의 리더 인 PICOTRACK Incorporated에 의해 만들어졌습니다. PCT-100RRE는 1 m의 슬릿 마스크, 0.01 m의 프로파일 해상도 및 ± 2 jm의 가공소재 위치 정확도로 사진 정밀도를 달성하기 위해 제작되었습니다. 슬릿 마스크 (slit mask) 는 포토 esist 재료의 노출을 제어하기 위해 시스템에 로드되는 마스크 유형입니다. 이것은 다양한 반도체 에칭 (etching) 애플리케이션에서 지속적으로 우수한 결과를 얻는 열쇠입니다. PICOTRACK PCT-100RRE는 고진공 저항 코트 챔버 (high-vacuum resist coat chamber) 를 갖추고 있으며, 운영 성능을 향상시키기 위해 정밀한 수준의 청결 함뿐만 아니라 열 방지 장치를 유지하도록 설계되었습니다. 챔버에는 응용 포토 esist의 다른 단계를 만들기 위해 3 개의 영역이 있습니다. UV, IR 및 일정한 전류 노출 시스템은 균일하고 정확한 패턴 등록을 제공합니다. PCT-100RRE의 다른 기능으로는 대형 조리개, 이중 빔 및 고해상도 스캐너, 온보드 전자 빔 기능 알림, 실시간 스캐너 유지 관리 모니터링이 있습니다. 큰 조리개 (large aperture) 는 빠른 처리량과 패턴의 정확성을 가능하게하며, 이중 빔 (dual-beam) 기능은 스캐닝 영역을 증가시켜 복잡한 구조를 포함합니다. 온보드 피쳐 (on-board feature) 알림은 특정 매개변수를 모니터링하고 작업 중 컴포넌트의 유지 관리 또는 교체에 대한 경고를 보냅니다. 실시간 스캐너 유지 관리 모니터링은 포토 esist 프로세싱의 정확성을 증가시킵니다. 광저항 흐름 (photoresist flow) 이나 기타 키 매개변수에서 불규칙성을 감지하는 레이저 센서를 사용하여 온도, 압력, 주파수를 모니터링합니다. PICOTRACK PCT-100RRE (PICOTRACK PCT-100RRE) 의 결과는 효율적이고 신뢰할 수 있는 포토리스 처리 기계로, 사용자에게 더 높은 수준의 컨트롤과 다양한 기능을 제공합니다. 이 도구 는 여러 가지 포토레시스트 (photoresist) 물질 을 처리 할 수 있어서, 여러 가지 반도체 제조 과정 에 적합 하다. PICOTRACK Incorporated는 PCT-100RRE를 통해 업계에 강력하고 신뢰할 수있는 포토 esist 자산을 제공했습니다.
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