판매용 중고 OSIRIS Varixx 804 #293755210

ID: 293755210
빈티지: 2019
Spray coater 2019 vintage.
OSIRIS Varixx 804는 반도체 제조 공정에서 고성능 패턴화 기능을 제공하도록 설계된 최첨단 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 고급 시스템 (Advanced System) 은 photolithography 애플리케이션을 위한 포괄적인 솔루션을 제공하여 사용자에게 photoresist 증착 및 패턴 처리 과정을 정확하게 제어할 수 있습니다. Varixx 804 유닛의 중심에는 정교한 포토 esist 디스펜싱 및 코팅 기술이 있습니다. 이 기계는 기판에서 포토 esist 물질을 정확하고 균일 하게 증착 할 수있는 고정밀 분배 메커니즘을 특징으로합니다. 이를 통해 기판 전체에 걸친 일관된 필름 두께를 보장합니다. 이는 고해상도 패턴화 (high-resolution patterning) 를 달성하는 데 중요한 반도체 제조입니다. 이 도구에는 뛰어난 균일성과 제어를 갖춘 포토레스 필름 (photoresist film) 을 적용 할 수있는 최첨단 코팅 헤드가 장착되어 있습니다. 이러한 코팅 헤드는 양성 (positive) 및 음성 포토리스트 (negative photoresist) 를 포함한 광범위한 포토 esist 재료와 특정 패턴 요구 사항에 대한 특수 제식을 수용하도록 구성 될 수있다. 자산의 다목적 디자인은 근접 리소그래피, 접촉 리소그래피, 투영 리소그래피 등 다양한 사진 리토그래피 프로세스에 적합합니다. OSIRIS Varixx 804 모델은 고급 디스펜싱 및 코팅 기능 외에도 포토리스 (photoresist) 패턴화 프로세스를 최적화하는 다양한 기능을 제공합니다. 이 장비에는 포토 esist 재료의 최적의 처리 조건을 보장하기위한 통합 온도 제어 시스템이 포함되어 있습니다. 정밀 온도 조절은 균일 한 필름 품질 및 접착, 특히 고급 반도체 제작 공정에서 필수적입니다. 이 시스템은 또한 photoresist 패턴 작업 흐름을 능률화하는 고급 자동화 기능을 갖추고 있습니다. 기판 정렬, 스핀 코팅, 베이킹 프로세스와 같은 자동화된 기능을 통해 주기 시간을 줄이고 전반적인 프로세스 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 이 장치의 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 연산자는 포토리스 (photoresist) 증착 및 패턴 처리를 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있으며, 중요한 프로세스 매개변수에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 또한, Varixx 804 머신은 확장성과 유연성을 위해 설계되어 R&D 및 대용량 운영 환경 모두에 적합합니다. 이 도구는 다양한 기판 크기와 재료를 수용할 수 있으며, 기존 반도체 제조 라인에 원활하게 통합 할 수 있습니다. 모듈식 설계 (modular design) 및 구성 가능한 옵션을 통해 사용자는 자산을 사용자 정의하여 특정 패턴 요구 사항과 프로세스 요구를 충족할 수 있습니다. 전반적으로 OSIRIS Varixx 804 photoresist 모델은 photolithography 기술의 상당한 발전을 나타내며, 반도체 제조 공정에서 정밀도, 제어 및 효율성을 제공합니다. 최첨단 디스펜싱 (Dispensing) 및 코팅 기술, 고급 자동화 기능, 다양한 애플리케이션을 위한 확장성 등을 통합하여 반도체 제작의 고성능 패터닝 (HPP) 결과를 실현하는 포괄적인 솔루션을 제공합니다 (영문).
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