판매용 중고 ORION 90T #9176341

제조사
ORION
모델
90T
ID: 9176341
Box coater Included: Polycold system Not included: LEYBOLD T 1600 Turbo pump.
ORION 90T는 박막 마이크로 일렉트로닉 장치 제작을 위해 개발 된 다재다능하고 신뢰할 수있는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 높은 처리량 사진 분석 프로세스를 위해 특별히 설계되었습니다. 90T는 처리 시간을 최대 50% 단축하여 처리 속도 및 프로세스 반복성을 보장합니다. 이 장치는 향상된 하드웨어, 고급 소프트웨어, 고급 자동화 기술을 결합하여 효율성을 향상시킵니다. ORION 90T 머신은 4 가지 주요 구성 요소 (작업 콘솔, 광원, 광 정렬기 및 인덱서) 로 구성됩니다. 운영 콘솔에는 도구 설정 및 제어를 단순화하는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 있습니다. 광원은 레이저 다이오드 (laser diode) 로 포토 esist 레이어를 노출시킬 수있는 정확한 자외선 조도를 제공합니다. 광학 정렬기 (optical aligner) 에는 전체 포토 마스크 (photomask) 세트가 장착되어 있으며, 이는 기판에 패턴을 정확하게 등록하기 위해 템플릿 역할을합니다. 인덱서는 광원과 광학 정렬기 사이에 기판을 정확하게 배치하는 마이크로 모션 인덱서 (micro-motion indexer) 입니다. 90T 에셋은 처리 시간 단축, 처리량 향상을 위해 설계된 고급 제어/통신 소프트웨어 (Advanced Control and Communication Software) 를 갖춘 완전자동화 (Fully Automated Photolithography) 모델입니다. 프로세스 반복성 (process repeatability) 과 정확도를 유지하기 위해 광학 정렬기 (optical aligner) 의 피드백을 사용하여 패턴화된 각 레이어의 정확한 노출 시간을 계산할 수 있습니다. 또한, 소프트웨어는 endpoint detection, repeatability analysis 등 다양한 프로세스 제어 작업을 수행하는 데 사용될 수 있습니다. ORION 90T 장비는 마이크로 전자 장치 제조를위한 강력하고 다양한 솔루션입니다. 최소한의 설정 시간으로 인하 속도, 반복 가능성, 높은 처리량을 보장합니다. 또한 신뢰성 있는 작업을 통해 최소한의 오류와 최대 정확도를 보장할 수 있습니다. 다양한 기능과 고급 제어 기능을 통해 간편하고, 안전하며, 재현이 가능한 디바이스 프로세싱을 수행할 수 있습니다.
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