판매용 중고 OPTORUN OWLS-1800DV2H #293753765
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ID: 293753765
Optical sputter coater system
Vacuum сhamber
Base plate fixture size: Ф 375 mm x 5 mm
Base plate rotating speed: 10-100 RPM
Target size: Ф 142 x H 630 Ti
(2) ICP Reaction sources with RF Power supply: 5 kW
Transmission system: Double-arm vacuum mechanical arm
Cathode power supply:
(2) Bipolar MF Power supplies: 24 kW
(2) High pulse power supplies: 20 kW
Part number: OWLS-1800DV2H.
OPTORUN OWLS-1800DV2H는 반도체 산업에서 고정밀 리소그래피 응용 분야를 위해 특별히 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 고급 시스템은 최첨단 기술과 우수한 엔지니어링 (engineering) 을 결합하여 나노 스케일 (nanoscale) 기능을 갖춘 반도체 장치 생산에 탁월한 성능과 신뢰성을 제공합니다. OWLS-1800DV2H 장치의 중심에는 정교한 광학 석판 기술 (Optical Lithography Technology) 이 있으며, 이는 실리콘 웨이퍼에서 포토 esist 물질의 정확한 패턴을 가능하게합니다. 이 기계는 고급 광학 (Optic) 과 레이저 (Laser) 기술을 활용한 고해상도 (High-Resolution) 노출 도구를 장착하여 뛰어난 해상도와 뛰어난 패턴 충실도를 제공합니다. 이 정밀도 (level of precision) 는 밀집된 피쳐와 복잡한 형상을 갖춘 고급 반도체 장치를 제조하는 데 필수적입니다. OPTORUN OWLS-1800DV2H 는 이중 단계 정렬 에셋으로, 여러 레이어 패턴 간에 정확한 오버레이 정렬을 보장합니다. 이 기능은 메모리 칩, 프로세서, 센서 등의 복잡한 반도체 장치 제작에 사용되는 다중 계층 리소그래피 (multi-layer lithography) 프로세스에 중요합니다. 이 모델의 고급 정렬 알고리즘 (Advanced Alignment Algorithms) 과 실시간 모니터링 (Real-Time Monitoring) 기능을 통해 서로 다른 레이어를 빠르고 안정적으로 정렬할 수 있어 높은 장치 생산량과 향상된 제조 효율성을 제공합니다. 최첨단 석판화 기능 외에도, OWLS-1800DV2H 장비에는 포괄적인 프로세스 제어 및 모니터링 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능에는 자동 초점 및 노출 제어, 고급 웨이퍼 매핑 및 분석 도구, 실시간 프로세스 매개변수 모니터링 등이 포함됩니다. 이러한 기능을 통해 운영자는 리소그래피 프로세스를 최적화하고, 잠재적인 문제를 조기에 파악하고, 실시간 조정을 통해 일관성 있고 고품질의 결과를 얻을 수 있습니다. OPTORUN OWLS-1800DV2H 시스템은 대용량 생산 환경을 위해 설계되었으며, 여기서 신뢰성, 처리량 및 수익률이 가장 중요합니다. 이 장치는 지속적인 운영을 위해 설계되었으며, 24/7 제조 작업의 엄격함을 견딜 수있는 견고한 구조를 갖추고 있습니다. 모듈식 설계로 유지보수 및 업그레이드가 용이하여 반도체 제조업체의 가동 시간 (uptime) 과 생산성 (productivity) 을 극대화할 수 있습니다. OWLS-1800DV2H 기계의 주요 기능은 다음과 같습니다. 포토 esist 재료의 정확한 패턴화를 위한 고해상도 광학 석판 기술. 2. 다중 레이어의 정확한 오버레이 정렬을 위한 듀얼 스테이지 정렬 도구. 3. 다양한 프로세스 제어 및 모니터링 기능을 통해 최적의 석판화 성능을 제공합니다. 4. 초점과 노출 제어를 자동화하여 일관되고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 5. 높은 안정성과 손쉬운 유지 관리를 위한 견고한 구성 및 모듈식 설계 결론적으로, OPTORUN OWLS-1800DV2H는 반도체 제조를위한 리소그래피 기술의 최신 발전을 구현하는 최첨단 포토 esist 자산입니다. 고급 기능, 뛰어난 성능, 신뢰할 수 있는 운영 기능을 갖춘 OWLS-1800DV2H 는 석판화 (lithography) 프로세스에서 최고의 수준의 정밀도, 품질, 생산성을 달성하려는 반도체 제조업체에 이상적인 솔루션입니다.
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