판매용 중고 OPTORUN OTFC-1800DBI #9237129
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ID: 9237129
Vacuum coating system
With IAD
Chamber size: 1,800 W x 1,910 H
Vacuum pump:
OPTORUN: (2) 28" DP
POLYCOLD PFC-1102 HC Chiller
RP: EDWARDS E2M275
MBP: EDWARDS EH4200
Evaporation:
EB: (2) JEOL JEBG-102UH0
Hearth (Left): φ336xφ264xH15
Hearth (Right): φ40xH17, 30 Points
Shatter: About φ300x2
JEOL BS-72050ICE Power supply
Ion source assist:
RF Ion source: OPTORUN OIS-Three 23 cm Type
RF Neutralizer
Power supply
Shatter: About φ450 size
Controller:
OPTORUN HOM2-R-VIS350A Optical monitor
Wavelength: 350 nm~1100 nm (Reflectance)
Monitor glass: φ142 Size
Monitor points: 80 Points
Crystal monitor: INFICON XTC/3
6-Points rotary censer
OPTORUN Auto-deposition control system
2015-2017 vintage.
OPTORUN OTFC-1800DBI는 매우 정확하고 신뢰할 수있는 석판 제작을 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 최종 사용자에게 탁월한 성능을 제공하기 위해 최신 기능과 기술을 갖추고 있습니다 (영문). 독보적이고 자동화되고 능률적인 석판화 (lithographic) 프로세스를 활용하여 고밀도 및 비용 효율적인 포토레지스트 성능을 보장합니다. 이 장치는 고정밀 분배 장치 (high-precision dispensing unit) 와 특수 포토레스 레이어링 챔버 (photoresist layering chamber) 로 구성되며, 함께 극도로 정확한 증착 및 화학 에칭 과정을 제공합니다. 디스펜싱 유닛은 정밀한 ± 20 미크론 공차로 포토레스 소재를 분배할 수 있으며, 이는 일관성 있고 고품질의 감광성 (photosensitive) 기능에 필요합니다. photoresist 계층화 챔버 (photoresist layering chamber) 는 전체 기판에 균일하고 정확한 레이어 두께를 제공하여 일관된 패턴화를 보장합니다. OTFC-1800DBI에는 고급 광학 기계 (Advanced Optical Machine) 를 포함한 여러 통합 기술 기능이 있으며, 이는 석판화 과정에서 광출력이 정확하게 모니터링되도록 설계되었습니다. 이 도구에는 특수, 컴퓨터화된 프로파일 매칭 에셋도 포함되어 있습니다. 이 에셋을 사용하면 photoresist 레이어를 빠르게 설정, 조정, 모니터링할 수 있습니다. 자동 배송 모델 (Automated Delivery Model) 은 확장된 맞춤형 구성 기능도 갖추고 있어 다양한 기판 및 레이어 두께 (Layer Thickness) 요구 사항에 맞게 장비를 손쉽게 조정할 수 있습니다. 마지막으로, OPTORUN OTFC-1800DBI (Optorun OTFC-1800DBI) 는 고급 출력 제어 시스템을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 리소그래픽 프로세스의 특정 부분에 대한 출력 수준을 빠르게 조정하고 전반적인 성능을 모니터링할 수 있습니다. 이 장치에는 멀티 어레이 히터 머신 (multi-array heater machine) 과 프로그래밍 된 온도 제어 도구 (temperature control tool) 가 포함되어 있어 최종 사용자가 포토 esist 기능을 정확하게 제어할 수 있습니다. 전반적으로, OTFC-1800DBI는 사용자에게 최신 기술 발전을 최대한 활용하는 매우 정확하고, 자동화되고, 신뢰할 수있는 포토레시스트 (photoresist) 자산을 제공합니다. 광범위한 기능과 기능을 갖춘 이 모델은 석판화 (lithographic) 제작을 위한 탁월한 성능을 제공합니다.
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