판매용 중고 OPTORUN OTFC-1550 #9394460
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ID: 9394460
빈티지: 2015
Optical thin film coater
OPTORUN RF Ion source
275 Mechanical pump
EDWARDS Vacuum EH
Thickness monitor: HOM2R-VIS350A
XTC/3+6 Point type crystal sensor
2015 vintage.
OPTORUN OTFC-1550 포토레시스트 (photoresist) 장비는 반도체 제조 산업의 웨이퍼 처리를 위한 업계 최고의 솔루션입니다. 이 "시스템 '은" 웨이퍼' 표면 위 의 광유전물 을 정밀 코팅 하고 발전 시키도록 설계 되었다. cm ² 당 150mW의 광원, 레이저 장치 및 고급 렌즈 장치 (advanced lens unit) 를 갖춘 고급 싱글 빔 옵틱을 사용하여 균일 한 적용 범위를 보장합니다. 이 기계는 다양한 기판에 비해 성능 정확도와 균일성이 우수하여 최고 (top-grade) 웨이퍼 구성 요소를 제공합니다. 또한 이 툴은 가동 시간 (uptime) 이 높고 유지 보수 요건도 낮아 작동 시 안정적으로 사용할 수 있습니다. 견고한 건축은 내구성과 수명을 보장하여 고객의 투자를 보장합니다. OPTORUN OTFC 1550은 또한 사용자 친화적이며, 자동화된 컨트롤과 직관적인 프로그래밍 인터페이스를 통해 쉽게 작동할 수 있습니다. 이 자산은 온도 범위가 섭씨 10도 (섭씨 100도) 에 이르는 고선명 (고선명) 공정을 실행할 수 있는 프로그래밍 가능한 온도 조절 모델을 자랑합니다. 이 장비에는 광소시스트의 빠르고 정밀 코팅 및 개발을 위해 최대 1000 mm/s의 속도를 달성 할 수있는 고해상도 모션 시스템 (High Resolution Motion System) 이 장착되어 있습니다. 이 장치는 시간당 최대 800 개의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있으므로 웨이퍼 프로세싱을 위한 빠르고 비용 효율적인 솔루션입니다. 또한, 이 기계는 온보드 안전 카메라 (Onboard Safety Camera) 와 빠르고 안전한 작동을 위해 자동 실행 종료 신호를 제공합니다. OTFC-1550 (OTFC-1550) 은 뛰어난 정확성과 반복성으로 포토 esist를 대규모로 처리하는 데 필요한 모든 기능을 갖추고 있습니다. 이 툴은 Wafer 처리를 위한 비용 효율적이고 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하는 업계 최고의 제품 중 하나입니다 (영문).
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