판매용 중고 OPTORUN OTFC-1550 #9390009

OPTORUN OTFC-1550은 기판 코팅 및 개발 챔버, 점도 펌프 및 사진 저항 디스펜서로 구성된 완전 자동화 된 포토 esist 필름 처리 장비입니다. OPTORUN OTFC 1550은 200mm x 200mm ~ 500mm x 500mm 크기의 포토 마스크 베어링 기판을 안정적이고 반복적으로 처리 할 수있는 방법을 제공합니다. 이 시스템은 기판 코팅 및 개발, 프리 베이크, 디스펜스, 포스트 베이크 (post-bake) 및 마지막으로 사진 저항 제거 챔버 (photo resist removal chamber) 를 포함하여 각 프로세스 단계마다 전용 챔버가있는 챔버 세트로 구성됩니다. OTFC-1550 (OTFC-1550) 은 포토 esist가 기판에 균일 한 필름 두께로 적용되는 자동 기판 코팅 챔버로 시작합니다. 이 챔버는 또한 프리 베이크 (pre-bake) 공정을 수행하여 균일 한 기본 필름 접착을 보장합니다. 분배 (Dispense) 기능은 photomask 패턴이 원하는 두께에서 기판에 정확하게 분배되도록 하는 데 사용됩니다. 이것은 장치 내에 통합 된 고급 사진 저항 디스펜서 (Advanced Photo Resist Dispenser) 를 통해 달성됩니다. 노출 및 개발과 같은 포스트 베이크 프로세스는 통합 개발 챔버에서 수행됩니다. 이 챔버는 균일 한 전반적인 저항 필름 프로파일을 보장합니다. 마지막으로, PRR (Photo Resist Removal) 챔버는 기판에서 원치 않는 포토 esist를 제거하는 데 사용됩니다. 이것은 균일 한 PRR 결과를 보장하도록 설계된 고급, 진공 보조 기술을 통해 가능합니다. 전반적으로 OTFC 1550 포토 esist 머신은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 기판 처리 솔루션을 제공합니다. 200 mm x 200 mm ~ 500 mm 크기의 포토 마스크 베어링 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한 통합 된 프리 베이크, 디스펜스, 포스트 베이크 및 PRR 프로세스를 통해 정확하고 균일 한 포토 esist 필름 처리 결과를 얻을 수 있습니다.