판매용 중고 OPTORUN OTFC-1550 #293816717

OPTORUN OTFC-1550은 포토 esist 처리를 위해 설계된 정밀 개발자입니다. OPTORUN OTFC 1550은 고급 옵티컬 하드웨어 (Optical Hardware) 및 자동 워크플로우 (Automated Workflow) 를 통해 높은 처리량을 제공하며 레이어 및 마이크로 정렬 등록 정확도보다 뛰어난 계층을 얻을 수 있습니다. OTFC-1550은 레이저 다이오드와 고속 이미징 갈바 노미터 기술을 갖춘 정밀 광학 헤드를 갖추고 있습니다. 이를 통해 원하는 수준의 마이크로 정렬 등록 (micro alignment registration) 을 정확하게 개발하기 위해 웨이퍼와 칩을 신속하게 스캔할 수 있습니다. 머리는 또한 다양한 노출 해상도 (Exposure Resolution) 와 전기-광사 폴리머 (Electro-photoresist polymer) 의 톤 범위를 제어하는 기능을 제공합니다. OTFC 1550은 또한 정밀 광학 장치 및 공기 흐름 관리 시스템 (공기 흐름 관리 시스템) 을 갖추고 있으며, 기존의 포토레스 처리 (photoresist processing) 에 비해 처리량을 향상시키고 결함을 줄입니다. 전용 노즐 및 진공 시스템은 균일 한 코팅 두께를 보장하고 웨이퍼 (wafer) 와 칩 (chip) 에 일관된 저항 프로파일을 생성합니다. 정밀 광학 장비에는 자동 정렬 (Automated Alignment) 표시 확인 (Checking) 도 포함되어 있으며, 이는 코팅 적용 범위와 저항 프로파일을 검증하여 추가 프로세스 제어 계층을 제공합니다. OPTORUN OTFC-1550은 또한 결함 요율을 줄이고 주기 시간을 단축하도록 설계된 자동 웨이퍼 처리 시스템을 제공합니다. 이 자동 장치 는 "비전 머신 '을 사용 하여" 와퍼' 를 "챔버 '에 정확 하게 배치 하고 기판 의" 스핀들' 높이 를 정확 하게 등록 할 수 있다. 시력 도구 (vision tool) 는 또한 표면 오염을 감지 할 수 있으며, 이는 저항 적용 전반에 걸쳐 코팅이 균일하게 유지되도록 도울 수 있습니다. OPTORUN OTFC 1550에는 사용자 정의 가능한 실시간 프로세스 정보, 전체 오류 로깅 기능, 지능형 진단 자산 등을 표시하는 직관적인 운영자 인터페이스도 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 고수율 (High Yield) 과 우수한 에치 (Etch) 품질을 보장하면서 포토레시스트의 빠르고 효율적인 개발을 보장하는 강력한 공구가 만들어집니다.