판매용 중고 OPTORUN OTFC-1550 #293642596
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ID: 293642596
Optical thin film coater
SUS304 Vacuum chamber: Φ1550 mm x 1800 mm
Substrate dome size: Φ1400 mm
Substrate dome speed: 10 RPM - 30 RPM
Optical film thickness control system:
HOM2-R-VIS350A
Wavelength range: 350 nm-1100 nm
XTC/3+6 Point type crystal sensor
(2) EB Sources
RF Ion source: 17 cm
Vacuum system:
Roughing pump
(2) Diffusion pumps
(2) Cryo pumps
Cryo trap.
OPTORUN OTFC-1550은 사진, 전자, 생의학 및 제조 산업에 사용하도록 설계된 포토 esist underspray 장비입니다. 이 "시스템 '은 광유전자 들 및 기타 민감 한 물질 들 에 대한 균일 하고, 신뢰 할 만한 과잉" 커버리지' 를 고도 의 정확도 로 제공 할 수 있다. OPTORUN OTFC 1550은 뛰어난 빔 특성과 뛰어난 성능을 위해 고강도 레이저를 사용합니다. "레이저 '는 보호주택 (protective housing) 으로 동봉되며, 정밀 조절 가능한 빔 스팟 (beam spot) 크기로 전달되는 전력을 최소한으로 유지함으로써 과다 노출의 위험을 줄이고 처리 중인 재료를 손상시킵니다. 이 장치에는 또한 고해상도 이미징 머신 (Image Machine) 이 포함되어 있어 전체 프로세스 영역을 정확하게 이미징할 수 있습니다. OTFC-1550은 또한 전체 프로세스를 제어하기 위해 고급 소프트웨어를 통합합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 원하는 photoresist 재료, 응용 프로그램 속도 및 기타 매개변수 (예: 레이저 파장, 펄스 주파수, 전원, 지속 시간) 를 선택할 수 있습니다. 이 소프트웨어를 통해 사용자는 필터를 설정하여 포토리스 (photoresist) 재료의 손상 위험을 줄일 수 있습니다. OPTORUN에서 제공하는 운영 지침은 매우 명확하고 이해하기 쉽습니다. 이 포괄적인 지침 설명서에서는 필수 안전 절차 (Essential Safety Procedure) 에 대해 자세히 설명하고, 다양한 기능 및 기능 목록을 제공하며, 이를 통해 사용자는 툴의 성능을 극대화할 수 있습니다. 뛰어난 화질 외에도, OTFC 1550은 향상된 안정성, 뛰어난 유연성 및 낮은 운영 비용을 제공합니다. 이 자산은 다양한 업종의 사용자에게 탁월한 품질, 성능, 비용 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 그것 은 "포토레지스트 '재료 를 위한 훌륭 한 품질 과 해상도 를 제공 할 수 있으며, 여러 가지" 응용프로그램' 에 이상적 인 선택 을 한다.
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