판매용 중고 OPTORUN OTFC-1300DBI #9398672

ID: 9398672
빈티지: 2008
Optical thin film coater SUS304 Vacuum chamber: D 1300 mm x H 1610 mm Substrate dome size: D1130 mm Pump: Mechanical pump: 4000L /min Mechanical booster pump (2) Diffusion pumps, 22" Optical film thickness control system: OPTORUN HOM2-R-VIS350A Wavelength range: 350 nm - 1100 nm Shutters: (2) EB Sources ION Source Cold trap: POLYCOLD PFC670HC Meissner trap coil INFICON VGC023 Vacuum gage EB Source: Left: Loop hearth Right: 24 Points hearth JEOL 270 Degrees deflection system (2) JEBG EBG-203LFO JST-10F Power supply Substrate fixture: 10-50 RPM Variable speed dome INFICON XTC-2 Crystal film thickness monitor 6-Points rotary crystal sensor INFICON VCC500 Process gasses controller INFICON VDM005-X Controlled valve PLC Control PC Included 2008 vintage.
OPTO-RUN OPTORUN OTFC-1300DBI 광화학 장비는 에칭, 스퍼터링 및 레이어 증착과 같은 응용 분야를 위해 설계된 다목적 광화학 시스템입니다. 즉, 처리량을 그대로 유지하면서 최대 4 개의 마스크를 동시에 정확하게 노출할 수 있습니다. 플렉서블 라이트 엔진 (Flexible Light Engine) 과 수많은 프로세스 옵션을 특징으로하는이 포토레스 장치 (Photoresist Unit) 는 균일성과 반복성을 갖춘 정확한 포토리스 트 노출을 제공합니다. OPTO-RUN OTFC-1300DBI 포토 esist 머신은 노출 챔버, 경량 엔진 및 컨트롤러로 구성됩니다. 노출 챔버는 최대 4 개의 마스크를 동시에 수용 할 수있는 다중성 도구를 사용합니다. 라이트 엔진 (light engine) 은 마스크 주위에 배열 된 형광등 고리로 구성되어 있으며, 수요가 많은 고강도 자외선 (UV Light on demand) 을 제공합니다. 이 조작 된 광원 은 조정 이 가능 하여, 각 "마스크 '에 대해 용량, 노출 시간, 노출 동력 을 독립적으로 조정 할 수 있다. 노출 챔버 및 라이트 엔진 외에도 OPTO-RUN OPTORUN OTFC-1300DBI 포토 esist 자산에는 정확한 디지털 디스플레이 컨트롤러도 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 모델의 노출 설정 (Exposure Settings) 을 사용자정의하고 노출 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 컨트롤러에는 강력한 옵토 (opto) 전자 인터페이스가 있어 외부 컴퓨터에서 전체 장비를 제어할 수 있습니다. OPTO-RUN OTFC-1300DBI 포토 esist 시스템은 집적 회로 (IC), 평면 패널 디스플레이 및 인쇄 회로 보드를 포함한 다양한 유형의 마이크로 일렉트로닉스 생산에 이상적입니다. 이종 플립 칩 패키지 (flip chip package) 와 MEMS 장치 (MEMS device) 의 제작과 같은 고급 반도체 애플리케이션에 특히 적합합니다. 이 장치는 유연성과 사용이 간편한 인터페이스를 통해 품질 관리 (Quality Control) 및 일반 클린 룸 (Clean Room) 운영을 위한 매력적인 선택이 가능합니다. 요약하면, OPTO-RUN OPTORUN OTFC-1300DBI 포토 esist 머신은 마이크로 일렉트로닉스 생산에서 정확한 포토 esist 노출을위한 매우 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 제품은 모든 생산 환경에 쉽게 적응할 수 있는 다용도 솔루션으로, 정확한 디지털 제어 (digital control) 를 통해 품질 관리 (quality control) 및 특수 어플리케이션 (specialty application) 모두에 유용한 툴이 됩니다.
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