판매용 중고 OPTORUN OTFC-1300DBI #9358481

옵토룬 OTFC-1300DBI는 다양한 전자 부품 생산에서 기판의 정밀 패턴을 위해 옵토룬 (OPTORUN) 이 개발 한 예술, 고급 포토 esist 장비의 상태입니다. 기존 및 고급 석판 공정을 사용하여 장치를 생산하는 데 적합합니다. 이 시스템은 '전용 옵티컬 헤드를 장착하고 30 x 40cm ~ 50 x 100cm의 노출 영역 크기를 지원합니다. 엑시머 레이저를 사용하면 노출을 세밀하게 조정할 수 있으며, 단일 샷 적응 포커스 유닛, 6 개의 석판 모드, 가변 용량, 고주파 스캐닝 등 다양한 기능을 사용할 수 있습니다. 이러한 기능의 조합을 통해 복잡한 구조를 비용 효율적인 방식으로 정밀 패턴화 (precision patterning) 할 수 있습니다. OTFC-1300DBI (Optical Alignment Machine) 에는 광학 정렬 머신과 매우 높은 해상도에 도달 할 수있는 고급 선형 스테퍼 스테이지 세트가 있습니다. 광학은 회절 효과를 최소화하기 위해 연속 위상 이동 (continuous phase shift) 방법을 사용하여 최적화됩니다. 또한 유리, 석영 및 반도체 재료를 포함한 다양한 기판과 호환됩니다. 이 도구는 소형 기능의 생산을위한 향상된 이미징 기능을 제공하는 고급 기능인 HRV (High-Resolution Visible) 이미징 (HRV) 이미징 (Imaging) 과 같은 최신 석판 기술을 사용합니다. 에셋에는 또한 여러 레이어의 패턴을 정확하게 정렬 할 수있는 POP (Pattern-On-Pattern) 정렬 모델이 있습니다. POP 장비는 고해상도 (high resolution) 요구사항을 관리할 수 있으며, 고정밀 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 구조의 생산에 적합하다. OPTORUN OTFC-1300DBI는 다양한 레이어 및 에치 (etch) 프로세스와 호환되며, 소형 부품뿐만 아니라 웨이퍼 사이즈 시트를 생산할 수 있습니다. 다양한 기능을 결합하여 사용자에게 높은 정확도, 재생성, 처리량을 제공하는 사진 (photolithography) 시스템을 제공합니다. 센서, 집적 회로, LCD, OLED, MEMS 등 다양한 전자 장치를 생산하는 데 적합합니다.