판매용 중고 OPTORUN OTFC-1300DBI #293797489
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OPTORUN OTFC-1300DBI는 반도체 장치 제조에서 코팅에 저항하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 다양한 photoresist 프로세스에 대한 뛰어난 성능과 신뢰성을 제공합니다. OTFC-1300DBI 는 4 가지 기능을 통합하는 특수 설계를 통해 다양한 애플리케이션 요구 사항을 처리할 수 있습니다. OPTORUN OTFC-1300DBI는 분당 최대 10 개의 웨이퍼를 빠르게 배치 할 수있는 스핀 코팅 시스템입니다. 이 장치에는 크기와 재료가 다른 웨이퍼를 처리 할 수있는 조정 가능한 공정 챔버 (adjustable process chamber) 가 있습니다. OTFC-1300DBI에는 코팅 프로세스를 정확하게 제어하기위한 고급 프로세스 모니터링 머신 (Advanced Process Monitoring Machine) 도 장착되어 있습니다. 이 도구는 입자 오염 수준을 줄일 수있는 배타적 인 얼굴 청소 방법을 가지고 있습니다. OPTORUN OTFC-1300DBI의 SPE 에셋은 포토 esist 레이어의 두께를 코팅하고 세밀하게 조정합니다. OTFC-1300DBI는 디스펜스 헤드 (dispense head) 를 사용하여 코팅 전에 웨이퍼에 포토 esist를 정확하게 적용하고 퍼뜨립니다. 분배 헤드는 또한 반사 방지 코팅 (ARC) 을 적용하여 광 주의자의 반사 효과를 감소시키는 데 사용될 수있다. OPTORUN OTFC-1300DBI에는 효율적인 로드 및 작동을 위해 자동 웨이퍼 전송 모델도 제공됩니다. 이 장비 는 또한 "웨이퍼 '를 사용 하지 않을 때 문 을 닫아 최상 의" 코우팅' 질 을 보장 해 주는 특수 "셔터 '기능 을 가지고 있다. OTFC-1300DBI는 이점 냉각 시스템을 사용하여 고온 공정에서 최고의 photoresist 특성을 보장합니다. 첨단 열 소산 기술은 포토 esist 물질의 열 스트레스를 줄이는 데 도움이됩니다. 프로세스의 최적의 청결 성과 반복성은 OPTORUN OTFC-1300DBI의 고급 코팅 균일 장치를 통해 달성됩니다. 이 기계는 또한 양성 또는 음성 광 주의자와 같은 다른 광사 물질을 처리 할 수 있습니다. 요약하면, OPTRON OTFC-1300DBI는 현대 반도체 소자 제조의 우수한 성능과 효율성을 위해 설계된 고급 포토리스 (photoresist) 도구입니다. 이 자산은 강력한 기능 (Function) 과 기능 (Features) 을 통해 광범위한 어플리케이션을 처리하고 우수한 결과를 얻을 수 있습니다.
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