판매용 중고 OPTORUN OTFC-1300DBI #293603058

ID: 293603058
빈티지: 2006
Optical thin film coater EB Source 2006 vintage.
OPTORUN OTFC-1300DBI는 다양한 상업, 연구 및 산업 응용 분야에 사용되는 정밀 자동 포토 esist 장비입니다. 광물질 (Photoresist) 은 기판 표면에 적용되고 빛에 노출되어 영구 패턴 또는 피쳐를 생성 할 수있는 광선 민감성 폴리머 재료 유형입니다. OTFC-1300DBI는 모든 유형의 기판에 복잡하고 미세한 패턴을 정확하게 제작하도록 설계된 정밀 자동화 시스템 (Precision Automated System) 입니다. OPTORUN OTFC-1300DBI를 사용하면 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공하여 대용량 포토리스트 작업을 수행 할 수 있습니다. 이 장치는 작업에서 작업까지 일관성 있는 정확성을 유지하도록 설계되었으며, 자동화된 작업을 위해 여러 프로세스 트랙을 사용할 수 있습니다. 기판을 OTFC-1300DBI에 적재 할 때, 낮은 방사선 레이저 빔을 사용하여 기판 표면을 스캔하고 기판 패턴의 정확한 너비, 깊이, 위치를 찾습니다. 그런 다음 레이저 빔은 X, Y 및 Z 축으로 이동하여 photoresist가 기판에 적용되는 응용 단계로 이동합니다. 그런 다음 광전자가 자외선에 노출됩니다. 이것 은 광도 (photocurable) 반응 을 시작 하는데, 이것 은 광도 (photoresist) 를 원하는 패턴 에 따라 기질 과 정확 하게 정렬 하여 고정 시킨다. 이 프로세스는 빠르고, 안정적이며, 반복 가능하며, 복잡한 패턴과 세부 사항을 만들 수 있습니다. 그 에 더하여, 기계 에는 조정 가능 한 빔 발산 (beam divergence) 이 장착 되어 있는데, 이 발산 장치 는 기판 을 가로질러 광물질 의 균등 하고 일관성 있는 확산 을 보장 해 준다. 포토레스 (photoresist) 패턴화 프로세스가 완료되면 기판은 측정 스테이션 (Metering Station) 으로 이동할 수 있으며, 여기서 장치는 완료된 피쳐를 측정하여 프로젝트 사양과의 정확성과 호환성을 보장합니다. 완성된 포토레시스트는 이제 고객 요구 사항에 따라 검사 할 수 있습니다. 또한, OPTORUN OTFC-1300DBI는 유연성을 위해 설계되었으며, 다양한 유형의 기판 및 포토 esist를 처리 할 수 있으므로 프로세스 변수 관리가 향상됩니다. OTFC-1300DBI 툴은 기판 패턴 적용 시 안정적이고 반복 가능하며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 자동화된 프로세스는 기존의 수동 어셈블리에 비해 많은 이점을 제공할 수 있습니다. 즉, 정확도 향상, 처리 속도 향상, 스크랩 감소 등 다양한 이점을 제공합니다. 이 자산은 사용 편이성을 위해 설계되었으며, 신속하게 설치, 운영될 수 있으며, 최소한의 교육을 통해 주문형 (on-demand) 제조를 용이하게 합니다.
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