판매용 중고 OPTORUN OTFC-1300CGI #9408415

OPTORUN OTFC-1300CGI는 비용 효율적인 고해상도, 신뢰성 있는 포토리스 연주자 코팅 프로세스를 제공하기 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 다양한 코팅 (coating) 모드를 제공하여 사용자가 균일성과 정확도가 높은 기판을 빠르고 쉽게 코팅 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 다양한 포토레시스트 (photoresist) 재료를 지원하므로 응용 프로그램에 적합한 포토레시스트를 찾을 수 있습니다. 이 장치는 레이저 스캔 헤드 (laser scan head) 와 렌즈 (lenses) 와 미러 (mirror) 배열로 구성되며, 둘 다 조절 가능한 갈보 스캐닝 머신으로 관리됩니다. 이는 비용, 공간, 전력 소비를 크게 줄여주는 동시에, 동일한 정확도와 정확도를 제공합니다. 이 도구는 또한 넓은 면적에서 매우 균일 한 연속 코팅 (coating) 을 허용하며 최대 5m/s의 속도로 달릴 수 있습니다. 자산은 3 계층 저항 코팅 프로세스를 사용하며, 웨이퍼 표면에 직접 저항 패턴이 있습니다. 3 계층 저항 프로세스를 사용하여 복잡한 패턴화를 위해 균일성, 정확성 및 반복 성을 보장합니다. 모델은 아연 도계, 레이저, 조명기 및 이미징 장비로 구성됩니다. "갈바노미터 '는 원하는" 패턴' 을 생성 하기 위하여 조명기 와 "레이저 '를" 웨이퍼' 표면 위 의 특정 한 패턴 으로 이동 시킨다. 수냉식 레이저는 고출력 다이오드 펌프 고체 레이저입니다. 자동 전원 제어 시스템 (Automated Power Control System) 은 레이저 전원 및 펄스 지속 시간을 자동으로 조정하여 최적의 패턴화를 달성합니다. 이 장치에는 고품질 마이크로 렌즈 어레이 (Microlens Array) 가 장착되어 기판 평면 안팎의 왜곡을 줄입니다. 이 마이크로 렌즈 어레이는 또한 넓은 지역에서 균일 성을 달성하는 데 도움이됩니다. 마지막으로, OTFC-1300CGI는 높은 정밀 역학과 정밀 광학으로 설계되어 뛰어난 필름 균일성과 정확성을 제공합니다. 코팅 공정에 따라 모션 컨트롤러 (옵션) 를 사용하여 정확도를 더욱 높일 수 있습니다. 이 기계는 영화 균일 성에서 높은 정확성과 반복성을 달성 할 수 있으며, 복잡하고 큰 마스크를 패턴 할 수 있습니다.