판매용 중고 OPTORUN OTFC-1300 #9215115
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판매
ID: 9215115
빈티지: 2006
Optical thin film coater
Control: PLC
PC
SUS304 Vacuum chamber
Substrate dome size: D1130 mm
Pumping system:
Mechanical pump 4,000L /min + Mechanical booster pump
(2) Diffusion pumps, 22”
INFICON VGC023 Vacuum gage
Cold trap: POLYCOLD PFC670HC for meissner trap coil
EB Sources:
L: Loop hearth
R: 24-Points hearth
JEOL EB Source 180° deflection system
(2) JEBG-1C2UCHC
Power supply:
JEOL EB Source: JST-10F
Shutters:
(2) EB Sources
Ion source
Ion source:
OPTORUN OIS ONE RF Ion source system: 170 mm Diameter
Substrate fixture:
Variable speed dome: 10~50 RPM
Optical film thickness control system:
OPTORUN HOM2-R-VIS350A
Wavelength range: 350 nm to 1100 nm
Reflection
Crystal film thickness monitor:
INFICON XTC-2
6-Points rotary crystal sensor
Process gasses controller:
Controller: INFICON VCC500
Control valve: INFICON VDM005-X
2006 vintage.
옵토룬 OTFC-1300 (OPTORUN OTFC-1300) 은 포토리스트 및 기타 박막 코팅 재료의 비용 효율적이고 고정밀 생산을 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 다양한 구성 옵션 (Configuration Option) 을 제공하여 개별 애플리케이션 요구 사항에 맞게 장치를 조정할 수 있습니다. 고급 코팅 헤드 (coating head) 디자인으로, 매우 정밀하고 반복 성으로 기판에 균일 한 박막 코팅을 제공 할 수 있습니다. OPTORUN 1300에는 통합 압력 제어 진공 펌프 (pressure-controlled vacuum pump) 가 포함되어 있으며, 이는 잘 조절 된 코팅 과정을 보장하고 광미주의 물질의 증발을 최소화합니다. 이 기계는 또한 재료의 효율적인 난방 및 냉각을위한 2 단계 히터를 갖추고 있습니다. 이 도구에는 어플리케이션 시간에 대한 정확한 제어가 가능한 타이머 (timer) 가 내장되어 있어 코팅 두께를 쉽게 조정할 수 있습니다. OTFC 1300의 포토 esist 프로세스는 완전히 자동화되어 있으며, 사용자는 안정적이고 반복 가능한 생산 프로세스를 제공합니다. 이 자산은 또한 과전류 보호 (overcurrent protection) 및 비상 종료 모델 (emergency shutdown model) 을 포함한 여러 통합 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한, 정교한 비전 장비를 사용하면 치료하기 전에 완성 된 포토 esist 레이어를 검사 할 수 있습니다. 1300 은 고급 인라인 (in-line) 로봇 시스템을 활용하여 유연성을 높이고 처리 시간을 단축합니다. 또한 고급 터치스크린 인터페이스 (touch screen interface) 를 통해 속도, 압력, 재료 전달 속도 등의 매개변수를 신속하게 선택할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 네트워크 연결을 통해 컴퓨터 (computer) 나 스마트 장치 (smart device) 에서 포토레지스트 (photoresist) 프로세스를 원격 제어 및 모니터링할 수 있습니다. OTFC-1300 (OTFC-1300) 은 안정적이고 사용하기 쉽도록 설계되었으며, 이는 포토 esist 재료의 대량 생산에 이상적인 솔루션입니다. 이 도구의 자동화된 프로세스와 프로그래밍 가능한 안전 (safety) 기능은 제품의 일관성과 정확성을 보장하도록 설계되었습니다. 이 자산은 또한 정확한 제어, 빠른 설정 (quick setup), 간편한 유지 관리 요구 사항으로 인해 프로토타입 (prototyping) 및 저용량 (low-volume) 운영 애플리케이션에 적합합니다.
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