판매용 중고 OPTORUN GENER-1300 #293615983
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ID: 293615983
빈티지: 2008
Vacuum coater
Chamber: φ1300 mm x 1500 mm
Dome: φ1200 mm (Spherical)
Low energy DC ion source (For plastic lenses)
EDWARDS E2M285 Pump, 2010 vintage
HELIX / POLYCOLD PFC-1000HC Chiller
Exhaust system:
E2M275 + EH1200 Lu Type, 2010 vintage
DP + POLYCOLD, 28"
Evaporator:
JEOL JST-10F E-beam power supply, 10kW
(2) Thermal resistance boats
Film thickness control:
Optical monitoring
6-Points quartz monitoring
2008 vintage.
OPTORUN GENER-1300은 전자 및 반도체 산업에 사용되는 미세 곡선, 반도체, MEMS 장치 및 기타 부품을 제조하는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 자외선 레이저를 포함한 고급 자외선 (advanced UV light) 을 사용하여 기판에 감광 저항층을 노출시킵니다. 그런 다음 이 저항은 기판 표면의 회로 패턴 (circuit pattern) 과 레이아웃 (layout) 을 정의하는 데 사용됩니다. OPTORUN GENER 1300 포토 esist 시스템은 190-365 nm 파장의 빛에 대한 저항을 노출 할 수 있습니다. 광원 노출의 강도 및 지속 시간은 고정밀 타이밍 메커니즘으로 제어됩니다. 이 장치는 4 가지 주요 구성 요소로 분류되며, 각 구성 요소는 프로세스에서 특정 작업을 수행합니다. 첫 번째 구성 요소는 리소그래피 머신 (lithography machine) 으로 저항면을 UV 빛에 노출시키는 역할을 합니다. 광학 머리 에는 "레이저 '가 들어 있는데, 그것 은" 레이저' 를 초점 을 맞추고 기판 의 표면 으로 향하게 한다. 이 레이저 (laser) 는 미리 프로그래밍된 경로에서 기판 표면을 따라 이동되며, 다른 강도 (intensities) 와 위치 (location) 를 가진 여러 영역을 노출하도록 조정할 수 있습니다. 두 번째 구성 요소는 정렬 단계 (alignment stage) 인데, 이 단계는 기판을 리소그래피 머신 (lithography machine) 의 적절한 위치로 가져오고 적절한 노출을 위해 서피스를 정렬하는 데 도움이 됩니다. 정렬 단계는 3개의 축으로 조정할 수 있으며, 다양한 연산을 수행하기 위해 프로그래밍될 수 있습니다. 세 번째 구성 요소는 화학 관리 기계입니다. 이 구성 요소는 기질의 사전 구운 프로세스, 개발 프로세스 및 사후 처리를 제어합니다. 프리 베이크 단계에는 소프트 베이크, 저항 코팅, 하드 베이크, 프리 에치 및 포스트 에치가 포함됩니다. 개발 과정에는 용매 및 개발자 선택, 온도, 시간 및 농도를 강조하는 등 저항의 사후 처리가 포함됩니다. 네 번째 구성 요소는 트랙 도구 (Track Tool) 로, 머신 안팎으로 기판을 로드, 언로드하고, 노출되고 개발된 기판에 대한 정보를 기록합니다. 4 가지 주요 구성 요소 외에도 GENER-1300 포토 esist 에셋에는 광학 안전 쉴드 (optical safety shield) 를 포함한 여러 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 안전 방패 (Safety Shield) 는 모델이 방출하는 모든 UV 방사선으로부터 연산자를 보호하고 잠재적 인 눈 상해를 방지합니다. 장비에는 온도 조절 시스템 (Temperature Control System) 이 장착되어 있어 전체 작업 과정에서 기계의 온도가 주어진 범위 내에 유지되도록 합니다. 전반적으로 GENER 1300 포토레지스트 (photoresist) 장치는 정확성과 정밀도로 전자 부품을 제작하도록 설계된 고급 기계입니다. 고도로 통제된 환경과 프로그래밍 가능한 기능을 통해 회로 패턴 (circuit pattern) 과 레이아웃 (layout) 을 빠르고 효율적으로 제작할 수 있습니다. 안전 기능은 도구를 안전하고 책임감있게 작동하도록 합니다.
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