판매용 중고 OKK OKK-500M #9153451
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OKK OKK-500M (OKK OKK-500M) 은 고정밀 사진주의 장비이며 현대 석판화 기술의 진화에 중요한 진전입니다. 고급 광학 기술, 나노 포지셔닝 정밀도 (nano-positioning precision), 자동화 (automation) 를 결합한 이 시스템은 다재다능하고 사용하기 쉬운 설계로 뛰어난 이미지 해상도와 프로세스 안정성을 제공합니다. 이 제품은 MEMS, 복합 반도체, 플렉스 인쇄 회로 기판 (flex printed circuit board) 및 기존 장치 제작과 같은 영역에서 다양한 애플리케이션에 적합합니다. OKK-500M은 12 채널 멀티 레이어 트레이 스태커를 갖춘 턴키 자동화 장치로, 대용량 생산을 위해 다중 계층 처리를 지원합니다. 이 제품은 균일하고 정확한 필름 두께 제어를 위해 실시간으로 설계되었으며, 작은 크기 (50nm 아래로) 와 너비 (50nm) 까지도 뛰어난 결과를 제공합니다. 고급 레이저 빔 스캐닝 (Laser Beam Scanning) 기술은 최대 4um의 플립 칩 해상도를 제공하며, 반복성이 높고 드리프트없이 정확합니다. OKK OKK-500M은 고급 적응 광학을 통해 포토 esist에 적용되는 빛의 양을 제어하는 FOI (field-variable optical interferometer) 를 통해 이것을 달성합니다. 또한, 필름 균일성을 극대화하기 위해 이온 빔 증착기를 사용할 수 있습니다. 이 도구는 손쉽게 작동할 수 있도록 대형 터치 스크린 인터페이스 (Touch Screen Interface) 와 함께 제공되며 강력한 30KH 프로세서를 장착합니다. PID 온도 제어는 온도 구배 문제를 없애고 고효율 강착 도구는 입자 오염을 줄입니다. 이 자산은 또한 비접촉 도량형 시스템을 지원하여 프로세스 시작 및 모니터링 속도를 높입니다. 마지막으로, OKK-500M의 멀티 타겟 고 처리량 스캔 모델은 초점 제어 스테퍼 해상도가 30nm 미만인 다양한 photomask 형식을 허용합니다. 따라서 포토마스크 (photomask) 기능을 포지셔닝하는 데 이상적이며, 순차 인쇄가 필요할 때 완벽한 반복성을 보장합니다. 이러한 모든 기능 및 그 이상은 OKK OKK-500M을 매우 강력한 포토 esist 장비로 만듭니다. 높은 수준의 정밀도와 결합된 다용도, 신뢰성, 비용 효율성을 통해 프로세스 요구 사항이 복잡한 모든 환경에 적합합니다. 오늘날 현대 나노 제작에 사용되는 고급 석판 기술을위한 완벽한 선택입니다.
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