판매용 중고 NOVELLUS / LAM Saber XT #9224442
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ID: 9224442
웨이퍼 크기: 8"
Cu Plating system, 8"
System controller
Module controller
Cassette handler controller
Main system:
Wafer cassette: 25 wafer
Mini-environment: SYNETICS
Chase computer / monitor: Desktop PC/CRT
Exhaust kit: TOP Mount
Drain kit: Backside
Cassette handler module:
Load port: Static nests, (4) stations
Wafer aligner type: Mechanical center finder
Robot type: AQR7 BROOKS
End effector: SST x/ Vacuum port
Mapping type: Thru-beam
Wafer release: With puff
Plating cell configuration:
Cell 1, cell 2 and cell 3:
Clamshell type: Standard
Clamshell cup type: PPS
Clamshell cylinder: Pressure-vacuum cylinder
ANODE Type: Standard
(2) TI Cables
SAC
Clamshell lift: IAI
ACR
Active top hat
Plating power supply: AE Pulse power supply
Post plating cell configuration:
Cell 1, cell 2 and cell 3:
Chuck type: PPS
Wafer present sensor mount: Standard
EBR
Bath module:
Totalizer #1 & #2 manufacture: FLORITE
Dosing pump 1,2 &3: MS1602-024
Recirculation pump: IWAKI WALCHEM CMD-101
CDM Level sensor type: KEYENCE
Heat exchanger: NESLAB HX-75
Auxiliary equipment:
Chemical monitoring system (CMS): ECI QLC-7000
Chemical delivery system (CDS): OEM
Mini delivery system (MDS): OEM
DI Water delivery system: OEM
Input voltage: 208 VAC, 50/60 Hz, 100 A.
NOVELLUS/LAM Saber XT는 다양한 까다로운 산업 응용 분야에 사용하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 특허를 획득한 일회용 (Single-Use) 및 단단식 프로세스를 활용하여 사용자 친화적이고 비용 효율적인 정밀 이미지를 제공합니다. 이 장치의 고급 포토레시스트 (photoresist) 기술은 일종이며, 이미징과 관련하여 높은 처리량과 탁월한 정밀도를 모두 제공하도록 설계되었습니다. 이 제품은 매우 적응력이 뛰어나며, 다른 작업에 신속하게 설치할 수 있으며, 성능은 최적 (optimal performance) 수준으로 운영됩니다. 이 기술은 또한 photoresist 이미징에서 최고 수준의 해상도, 정확도 및 반복 성을 보장합니다. LAM Saber XT에는 고급 레이저 기반 접근 방식을 사용하는 특수 고출력 광학 이미징 머신이 장착되어 있습니다. 시그니처 레이저 기반 접근법은 공구가 엄청나게 높은 수준의 정밀도를 유지할 수있는 것입니다. 또한 이 자산은 직관적이고 프로그래밍 가능한 데이터 로깅 모델과 같은 생산성 향상 (Productivity-enhancing) 기능과 감독 제어를 위한 실시간 성능 모니터링을 용이하게 하도록 설계되었습니다. 이 장비의 하드웨어에는 직관적인 소프트웨어 제품군 (Software Suite) 이 지원되며, 이 소프트웨어는 사용자에게 가장 유연성과 사용 편의성을 모두 제공하도록 설계되었습니다. "프로그램 '할 수 있는 기능 을 갖춘" 소프트웨어' 는 어떤 특정 한 작업 의 필요 에 맞도록 쉽게 조정 될 수 있다. 간단하고 신뢰할 수있는 포토레시스트 이미징 시스템을 요구하는 사용자에게 완벽한 선택입니다 (영문). 마지막으로 NOVELLUS Saber XT는 엄청난 내구성과 유연한 기능으로 설계되었습니다. 중장비 부품은 동봉 된 유닛에 보관되어 있으며, 장수를 극대화하고, 유지 보수 가능성을 최소화합니다. 또한, 세이버 XT (Saber XT) 는 극한 온도, 방사선 등 다양한 환경 조건에서 안전하게 작동 할 수 있으며, 광범위한 산업 응용 분야에 이상적입니다. 결론적으로, NOVELLUS/LAM Saber XT는 업계 최고의 포토 esist 머신으로, 다양한 까다로운 산업 작업에 대한 정밀 이미지를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 레이저 기반 이미징 도구, 직관적인 소프트웨어, 내구성 있는 구성으로, 안정적이고 신뢰할 수 있는 성능을 원하는 모든 사람에게 완벽한 선택이 가능합니다.
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