판매용 중고 NEXX SYSTEMS Stratus 300 #9278180

NEXX SYSTEMS Stratus 300은 세계적인 포토 esist 장비로, 가장 까다로운 포토 esist 프로세스의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 높은 처리량, 정확성, 반복 가능, 재현 가능한 처리를 비용 효율적인 방식으로 제공합니다. Stratus 300은 다층 금속화, 박막 형성 및 드라이 에칭을 포함한 모든 표준 포토 esist 프로세스에 적합합니다. 최소한의 오염으로 탁월한 저항력 (resist profile) 을 제공하며, 여러 노출 단계의 빠르고 정확한 타이밍을 위해 설계되었습니다. 처리량이 높은 시스템은 일관된 결과를 낳으며, 최대 프로세스 속도는 최대 200 layers/min입니다. NEXX SYSTEMS Stratus 300에는 여러 가지 고급 기능이 포함되어 있습니다. 멀티 스테이지 프리 베이킹 모듈은 증착 및 에칭을 개선하기위한 매우 효율적인 사전 청소 프로세스를 제공합니다. 프리 베이킹 모듈은 고온 공정에서 저항성 크래킹을 방지하고 포토 esist 결정화 동안 균일 한 저항성 얇아짐을 보장합니다. 스트라투스 300 (Stratus 300) 은 기계 작동을 단순화하고 노출 매개변수의 완전한 유연성을 제공하는 독특한 제어 장치를 특징으로합니다. Control Console 에는 여러 노출 주기, 프로그래밍 가능한 논리 함수, PID 피드백 제어 및 댐퍼, 레시피 관리 데이터베이스가 포함되어 있습니다. NEXX SYSTEMS Stratus 300에는 고해상도 마이크로 조리개 정렬 도구, 나노 스팟 균일성 (nano-spot unifority) 및 스팟 매칭 알고리즘, 균일성 및 반복성 향상을 위해 자동화된 기판 제스처 추적 자산 등 다양한 고급 기능이 포함되어 있습니다. Stratus 300은 고부가가치 포토 esist 제품을 저렴하고 안정적으로 처리하도록 설계되었습니다. 유연한 프런트 엔드 (Front-End) 재료 모델은 여러 화학 물질 및 기판과 호환성이 뛰어납니다. NEXX SYSTEMS Stratus 300 은 오염을 최소화하며, 단일 및 다중 계층 프로세스에 적합하므로 처리량이 빠르고, 시장 진출 시간이 단축됩니다.