판매용 중고 MTS Marangoni #9165831

제조사
MTS
모델
Marangoni
ID: 9165831
빈티지: 2012
Dryer N2 Flow -SCFH (SLPM): Heated N2, High flow Min: 636 (300) Max: 1059 (500) Typical: 850 (400) Heated N2, Low flow Min: 50 (23.5) Max: 75 (35.4) Typical: 60 (28.3) IPA Bubbler Min: 30 (14.1) Max: 60 (28.3) Typical: 50 (23.5) IPA Purge Min: 30 (14.1) Max: 60 (28.3) Typical: 50 (23.5) Static purge Min: 30 (14.1) Max: 60 (28.3) Typical: 50 (23.5) Chassis purge Min: 10 (4.7) Max: 20 (9.4) Typical: <15 (7.1) N2 Temperature: Heater core: Ambient to 200°C Heater over-temp: External surface (Snap switch): 162°C Heater core: 250°C Gas temp: Programmable Ambient to 160°C 130°C typical DI Water flow: During process: 10-15 GPM (38-57 LPM) Idle (Trickle flow): 1.5 GPH (.09 LPM) Process capacity (Wafers per run): Dual tanks: (50) 6" wafers-two cassettes of 25 wafers Single tank: (25) 12" Wafers Down and move out time: 6 Hours Currently installed 2012 vintage.
MTS 마랑 고니 (MTS Marangoni) 는 광사 코팅이 필요한 제조 공정에 대해 높은 수준의 정확성과 효율성을 보장하도록 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 특허를 받은 초 정밀 액체 코팅 (liquid coating) 공정을 활용하여 최소 폐기물 및 손실로 기판에 광 소제를 효율적이고 안정적으로 적용 할 수 있습니다. 이 포토레시스트 (photoresist) 장치는 사용자에게 다양한 커스터마이징 옵션을 제공하여 특정 요구에 맞게 코팅을 조정할 수 있도록 해 주며, 기계적 특성이 우수하고 선명도가 높은 포토레시스트 필름 (photoresist film) 을 생성합니다. Marangoni photoresist는 특별히 설계된 로봇 기계를 사용하여 분배되는 UV 민감성 폴리머 솔루션입니다. 이 코팅은 높은 정확도와 반복성 (repeatability) 을 가진 대부분의 재료에 적용되며, 이를 통해 폐기물을 최소화하여 대용량 고정밀 부품을 생산할 수 있습니다. 또한 MTS 마랑 고니 (MTS Marangoni) 도구는 최적의 광학 속성에 대한 필름의 두께를 관리하는 데 도움이 되는 다양한 두께 제어를 제공합니다. 포토 esist (photoresist) 는 용액을 작은 방울로 원자 화시키는 일련의 정밀 노즐 (nozzle) 을 사용하여 분배되어 균일 한 커버리지와 최대 성능을 보장합니다. 이 방울 증착 과정은 포토 esist가 보이드 (void) 나 비 적합성 (non-conformity) 없이 기판 표면에 균일하게 적용되도록 보장합니다. 마랑 고니 (Marangoni) 자산은 또한 레이어 수 (layer) 와 트랙 너비 (width) 를 제어하는 기능을 포함하여 다양한 유연성 조정을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 여러 photoresist 레이어를 정확하고 일관되게 적용할 수 있습니다. MTS Marangoni photoresist 모델은 photoresist 코팅 과정을 쉽고 효율적으로 만들도록 설계되었습니다. 마랑 고니 (Marangoni) 장비는 낭비 된 시간과 제품을 제거함으로써 최소한의 노력과 비용으로 뛰어난 포토리스 (photoresist) 영화를 제작할 수 있습니다. 단순하지만 견고한 디자인으로 MTS Marangoni photoresist 시스템은 사용자에게 정확성, 안정성, 효율적인 워크플로를 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다