판매용 중고 MTI FLEXIFAB #97296

MTI FLEXIFAB는 복잡한 반도체 장치의 제작을 위해 MTI (Material and Testing Instruments) 에서 개발 한 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 높은 수준의 유연성을 제공하여 블라인드 비아 (blind vias), 스텝 커버리지 (step coverage) 및 서피스 프로파일 (surface profile) 을 포함한 광범위한 구조를 만들 수 있습니다. 이 장치는 두 가지 주요 구성 요소 (photoresist deposition machine 및 pattern generator) 로 구성됩니다. 광저항 증착 도구 (photoresist deposition tool) 는 기판을 가로 질러 광저항 층을 균일하게 배치하도록 설계되었습니다. 대용량 자동 저항기 (automated resist spinner) 를 활용하여 저항제 적용 프로세스를 정확하게 제어합니다. 스피너 (spinner) 는 저항을 다른 속도로 증착 할 수 있으며, 반복성이 높아 서로 다른 기판에서 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 두 번째 컴포넌트는 패턴 생성기입니다. 이 장치 는 "에칭 '과정 을 위한 안내서 역할 을 하는 증착식" 포토레지스트' 에 "패턴 '을 인쇄 하는 데 사용 된다. "패턴 '을 에셋 으로" 프로그램' 하여 만들어진 구조 의 크기 와 모양 을 정확 하게 제어 할 수 있다. 이 "카메라 '에는 또한" 패턴' 의 결함 을 식별 하는 데 사용 할 수 있는 "카메라 '가 들어 있어 필요 한 대로 조정 할 수 있게 해 준다. 이 두 컴포넌트의 조합은 전통적인 포토 리토 그래피 (photolithography) 프로세스에 비해 많은 이점을 제공합니다. 이러한 장점 중 하나는 전통적인 리소그래피 기술로는 불가능한 복잡한 3 차원 구조를 만드는 모델의 능력입니다. 또한, 저항 응용프로그램 (Resist Application) 과 패턴 처리 (Patterning Process) 를 매우 정확하게 제어하면 라인 해상도가 향상되고 프로세스 반복성이 향상됩니다. 전반적으로 FLEXIFAB은 복잡한 반도체 장치를 제조하기위한 매우 효과적인 장비입니다. 정확한 제어 및 유연한 기능을 통해 라인 해상도 (line resolution), 수율 (yield), 반복성 (repeatability) 이 향상되어 매우 복잡한 디자인을 만들 수 있습니다. 따라서, 현대 반도체 생산 프로세스에 이상적인 선택입니다.